판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233654

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC는 마이크로 프로세서 제어 회전 증발 소스를 사용하는 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은 photoresist 의 신뢰 할 만한 분포 를 제공 하여, 전통적 인" 시스템' 보다 더 정확 한 증착 을 가능 케 한다. 진공 단위를 사용하여 미크론-얇은 광물질 층을 기판으로 증발시킵니다. 증발 원천은 회전 플랫폼에 장착되며 진공 챔버 (vacuum chamber) 에 포함되어 있습니다. 증발기는 제어 된 열 에너지원을 함유하며, 최대 235 ° C의 히터 온도가 가능합니다. 이어서, 증발 원을 회전시켜 광 소이스트를 기질에 균등하게 분배시킨다. 증발 속도 는 증발 "에너지 '의 속도 와 증발" 에너지' 의 양 에 의하여 조절 될 수 있다. 이 기계는 또한 펄스 주파수 (pulse frequency) 와 펄스 너비 (pulse width) 를 조정하여 포토 esist의 해상도를 높입니다. 이 고급 (Advanced) 기능은 공구의 유연성을 높여 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하도록 조정할 수 있습니다. 이 자산은 DUV (Deep UV) 및 I-Line photoresist와 같은 표준 단일 챔버 포토 esist 재료와 함께 사용하도록 설계되었습니다. 실리콘 웨이퍼, 유리, 쿼츠, 금속 등 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 모델은 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 제품은 펄스 튜닝 (pulse-tuning) 매개변수를 보정하고 조정하여 정확한 결과를 얻을 수 있는 품질 모니터링 장비를 갖추고 있습니다. 또한 제조 공정 (Manufacturing Process) 을 손쉽게 모니터링하고 관리할 수 있는 통합 시스템이 있습니다. 이 장치는 확장 가능하므로 다른 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. FSI Mercury OC는 포토 esist를 처리하는 효율적이고 정확한 방법을 제공합니다. 다재다능한 디자인과 조절 가능한 설정은 유연성 (Flexibility) 과 신뢰성을 제공하여 포토레시스트의 성공적인 처리를 보장합니다. 이 기계는 균일 한 증착, 고도로 제어 가능한 열 소스, 펄스 튜닝 매개변수의 정확한 제어 등 우수한 결과를 제공합니다. 이 툴은 다양한 애플리케이션에 적합하며, 반복 가능하고 안정적인 결과를 보장합니다.