판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233653

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ID: 9233653
웨이퍼 크기: 5"
Spray processor, 5" Single cassette, 5" Diameter, 14" A182-50MB Rotor / Turntable, 5" Fed from central chemical distribution set up No separate chemical carts with chemical canisters.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC (약칭 FSI Mercury OC) 는 FSI International, Inc. 및 TEL Ltd에서 개발 한 포토 esist 처리 장비입니다. 미세 전자 장치 (microelectronic devices) 의 중요한 구성 요소 인 포토 esist 재료의 생산에 사용됩니다. TEL Mercury OC는 CIS (Contact Image Sensing) 라는 고급 저항 처리 기술을 갖추고 있으며, 이는 매우 높은 해상도와 균일성으로 정밀 에칭 및 저항 처리를 보장합니다. 이 시스템은 매우 정밀한 광 헤드 (optical head) 와 독점 소프트웨어 (proprietary software) 를 활용하여 기판에서 얻은 데이터를 정확하게 읽고 처리합니다. 이를 통해, 이 장치는 생산 중인 장치의 프로파일을 분석하면서 필요한 마이크로 프로세싱 (micro-processing) 조정을 할 수 있습니다. 머큐리 OC (Mercury OC) 는 또한 과잉 에칭 문제 없이 고속 화학 처리를 가능하게하는 독특한 화학 전달 기계를 사용합니다. 또한 제조 공정 중 챔버의 압력, 온도, 상대 습도를 지속적으로 모니터링하는 현장 (in-situ) 제어 모니터가 장착되어 있습니다. 이를 통해 도구는 일관된 고품질 결과를 위해 최적의 화학 매개변수를 유지할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Mercury OC는 유기, 무기 및 하이브리드 시스템을 포함한 다양한 포토 esist 및 기판 재료를 지원합니다. 업계 표준 청소 (cleaning) 및 코팅 (coating) 사양에 따라 테스트되며 R&D 실험실 및 대규모 생산 시설의 요구를 모두 충족합니다. 자산에는 레이저 스크리빙 및 수지 코팅과 같은 고급 기능 (옵션) 도 있습니다. 이렇게 하면 인쇄된 장치를 정확하게 정렬하는 동안, 사용자가 마스킹 프로세스를 제어할 수 있습니다. 결론적으로, FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC는 고품질 마이크로 전자 장치의 일관된 생산을 보장하는 고급 포토 esist 처리 모델입니다. 이 기능을 통해 사용자는 마스킹 프로세스를 정확하게 제어할 수 있으며, 인쇄된 장치를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 첨단 기술과 옵션 기능으로 R&D 실험실과 대규모 생산 설비 모두에 이상적인 선택이 됩니다.
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