판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233651
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판매
ID: 9233651
웨이퍼 크기: 5"
Spray processor, 5"
Single cassette, 5"
Diameter, 14"
A182-50MB Rotor / Turntable 5”
Fed from central chemical distribution set up
No separate chemical carts with chemical canisters.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC 포토레지스트 (photoresist) 장비는 표면을 휴면 또는 사전에 형성하기 위해 지정된 기판에 정확하게 치수되고 정확하게 적용된 재료의 층에 레이어를 배치하는 데 사용되는 고정밀 도구입니다. 이 시스템은 MEMS, 반도체 및 관련 산업의 다양한 마이크로 제조 절차에 대한 R&D 및 파일럿 규모 제조에 적용됩니다. FSI 머큐리 OC 장치 (FSI Mercury OC Unit) 의 표준 기능은 포토 esist 재료로 기판을 정확하게 코팅하고, 접촉 노출 도구 (Contact Exposure Tool) 나 기계에서 찾을 수있는 직접 직렬 쓰기 도구를 사용하여 포토 esist 패턴의 패턴이나 프로파일을 정확하게 정의하는 것입니다. photoresist 증착 과정은 일반적으로 전자 회로 제조 및 optoelectronic 장치 생산 또는 프로토 타입에 사용됩니다. 접촉 노출 도구 (Contact Exposure Tool) 는 공구에 사용되는 미리 정의된 레티클에 의해 결정되는 정확한 이미징 패턴을 생성하는 역할을 합니다. 사용되는 레티클에 따라, 더 높은 성능 패턴을 만들 수 있으므로, 더 큰 종횡비, 사각형이 아닌 모양, 3D 미세 구조 및 더 세밀한 선 너비와 같은 고급 기능을 사용할 수 있습니다. TEL 머큐리 OC (TEL Mercury OC) 가 사용하는 직접 직렬 쓰기 프로세스는 필름 패턴을위한 다른 이미징 패턴을 달성하기 위해 스캐닝 표면에서 노출 에너지를 조절하는 것입니다. 머큐리 OC (Mercury OC) 자산의 전반적인 성능 능력은 터보 펌프 진공 모델 (turbo pump vacuum model) 을 사용하여 증착 균일성, 공정 속도, 필름 두께의 정확한 제어를 통해 더욱 향상되었습니다. 또한 TOKYO ELECTRON Mercury OC는 냉각 장비와 습도 제어를 자랑하여 정확하고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 포괄적인 포토 esist 시스템으로서 FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC 포토 esist 유닛은 다양한 산업에 고정밀 패턴화 기능을 제공합니다. 이 기계는 고성능 에너지 효율과 정확한 패턴을 위해 설계되었으며, MEMS, 반도체, 광전자 장치 제조에서 선도적인 선택이었습니다.
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