판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233116

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC는 웨이퍼 표면의 정확하고 반복 가능한 영상을 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 스테퍼 (stepper) 및 스캐너 동작 제어 시스템 (scanner motion control system) 을 갖춘 단일 열 스캐너로 웨이퍼에 매우 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 스테퍼 (stepper) 및 스캐너 동작 제어 장치 (scanner motion control unit) 를 사용하면 포토레지스트를 정확하게 배치하고 꺼낼 수 있습니다. 이 기계는 또한 고해상도 광학 이미징 도구 (Optical Imaging Tool) 와 통합 비전 자산 (Integrated Vision Asset) 을 통해 패턴의 오류를 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. 이 모델은 양성 (positive) 및 음성 (negative) 광자재 (photoresist) 를 포함하여 광범위한 광소시스트 물질과 함께 작동하도록 설계되었습니다. 최대 0.1 "미크론 '의 해상도 로" 이미지' 를 만들어 극히 작고 복잡 한 "패턴 '을 만들 수 있다. 이 장비에는 자동 클리닝 시스템 (automated cleaning system) 이 장착되어 있어 저항 물질을 깔끔하게 유지할 수 있습니다. 이렇게 하면 장치가 최고 (peak) 효율로 실행되고 패턴이 일관되고 정확하게 생성됩니다. 이 기계는 이미징 기능 외에도 웨이퍼 (Wafer) 제작 프로세스를 간소화하기 위해 설계된 다른 기능을 제공합니다. wafer 표면에 패턴을 등록 할 수있는 통합 이미지 센서가 있습니다. 또한 특허를받은 "자동 이미지 검사 (Auto Image Inspection)" 기능을 통해 고해상도 수준에서도 일관된 패턴 결과를 보장합니다. FSI Mercury OC는 고급 프로세스 기술에 사용하도록 설계되었습니다. 반도체, MEMS 및 Nano 스케일 제작 프로세스에 사용됩니다. 0.1 미크론 (micron) 정도의 작은 특징을 가진 매우 복잡한 구조의 프로토 타입 및 생산에 이상적입니다. 이 도구는 다중 레벨 MEMS 및 NEMS 구조와 같은 차세대 전자 컴포넌트를 생성하는 데에도 적합합니다. 이 자산은 사용자 친화적이며 작동이 간편하며, 고급 모션 제어 (Motion Control) 및 이미지 처리 기술이 통합되어 있습니다. 최신 컴퓨터 소프트웨어 플랫폼을 기반으로하며, 모든 일반적인 포토레지스트 (photoresist) 재료와 호환됩니다. 이 모델은 장기간 투자를 제공하며, 오랫동안 지속되고 신뢰할 수 있는 기계로, 웨이퍼 (Wafer) 제작 요구 사항에 대한 효과적이고 비용 효율적인 솔루션을 찾는 기업에게 이상적인 선택입니다.