판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9015074

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC 포토 esist 장비는 사진 리소그래피 프로세스를 위해 매우 얇거나 미크론 두께의 포토 esist 레이어를 정확하게 제어 할 수 있도록 설계된 화학 코팅 시스템입니다. 이 장치는 고정밀 필름 코팅과 정확한 균일 한 저항을 결합하여 비교할 수없는 정확성과 반복성을 달성합니다. 이 기계는 1.2nm 정도의 작은 층의 두께를 제어 할 수있는 정밀 필름 코팅 (precision film coating) 도구를 갖추고 있습니다. 또한 Drag Method, Jet Drop Method 및 Direct Dispense Method의 세 가지 독특한 필름 코팅 기술을 사용하여 코팅 정확도와 균일성을 높입니다. 에셋은 또한 재현 가능한 저항층 두께를 가능하게하는 정확한 정확한 균일 저항을 가지고 있습니다. 이 모델은 매우 좁은 선 (line) 너비를 만들 수 있으며, 이는 고급 장치 제조 프로세스에 필수적입니다. FSI Mercury OC 포토레지스트 (photoresist) 장비에는 직관적인 제어 및 프로세스 모니터링 기능을 제공하는 강력한 소프트웨어 패키지가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 코팅 알고리즘을 신속하게 정의할 수 있으므로 제품 출시 시간이 단축됩니다 (영문). 이 소프트웨어에는 네트워크 연결 (옵션) 도 포함되어 있으며, 이 연결 옵션은 사용자에게 원격 모니터링 및 제어 기능을 제공합니다. 따라서 다른 프로세스 단계 (process steps) 와 원격 장비 진단 (remote equipment diagnostics) 및 유지 관리 (maintenance) 간에 데이터를 공유할 수 있습니다. 또한 업계 표준 프로토콜을 준수하여 통합 추적 기능을 제공합니다. 이 기능을 통해 프로세스 매개변수 추적 및 로깅, 운영자 (operator) 가 데이터를 손쉽게 검색하고, 프로세스 데이터를 개선하고, 규정 준수를 유지할 수 있습니다. TEL Mercury OC 포토 esist 유닛은 신뢰성이 높고 악화에 강합니다. 그것 은 여러 가지 복잡 한 "마이크로 서킷 '처리" 응용프로그램' 을 처리 할 수 있을 만큼 강력 하고 믿을 만하며, 그것 은 사진 석판화 과정 의 필수적 인 부분 이다.