판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9281852

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP Photoresist Equipment는 최고의 사진 분석 요구 사항을 충족시키기 위해 개발 된 고성능 다용도 마스크 정렬기입니다. FSI Mercury MP에는 스트립 형태의 재료 처리 메커니즘, 2 개의 기판 지원 플랫폼, 자동 초점 및 두께 제어, 절전 건조 광원, 고정도 스캔 및 자동 후처리 기능 등 다양한 기능이 포함되어 있습니다. TEL Mercury MP에는 높은 정확성과 빠른 측정을 달성하는 오리지널 "High Accurate Protrusion Sensor" 가 장착되어 있습니다. 사용 된 광원은 436 nm의 파장을 가진 He-Cd 레이저입니다. 건조 광원 (dry light source) 은 고출력 및 저에너지 소비를 가능하게하며 광석판 처리를 위해 빠르고 정확한 정렬을 지원합니다. TOKYO ELECTRON Mercury MP는 스트립 형태의 재료 처리로 1 단계 또는 2 단계의 사진 해설도 지원합니다. Mercury MP에는 두 개의 기판을 지원할 수있는 플랫폼이 포함되어 있으며, 동시에 정렬하고 두께를 측정할 수 있습니다. 사용 된 스캐너는 높은 정확도의 선형 AC 서보 모터로, 반복 가능한 분해능을 0.5 µm까지 가능하게합니다. 표면 스캔 정확도도 0.1 äm이며, 점 모양에 대한 정밀 정렬도 0.2 äm입니다. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP에는 에지 컬러링, 스캐닝 및 농도 조정과 같은 자동 프로세싱도 있습니다. "마스크 '정렬 장치 의" 프레임' 은 쉽게 작동 할 수 있도록 설계 되었으며, 기본 "프레임 '은 진동 을 방지 하도록 설계 되었다. 또한 FSI 머큐리 MP (Mercury MP) 는 다른 서브시스템의 통합을 지원하므로 완전 자동화 된 사진 분석 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. TEL Mercury MP는 다양한 어플리케이션을 충족하는 사용자 친화적인 고급 시스템입니다. 평면 패널 디스플레이, 태양 전지, MEMS 및 IC 파운드리와 같은 다양한 산업에서 사용하도록 최적화되었습니다. 이 장치는 높은 생산성과 일관된 성능을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템에는 편리한 사용자 인터페이스 (user interface), 강력한 내장 측정 기능 (BIST) 및 추가 데이터 처리 기능이 장착되어 있어 사용자 환경을 향상시킵니다. 또한 TOKYO ELECTRON Mercury MP는 환경 규정을 충족하고 광 오염 및 정전기 생성을 최소화하도록 설계되었습니다. 이 도구는 신뢰할 수 있는 측정값과 빠르고 정밀한 정렬을 제공하며, 사진 해설에 이상적인 자산입니다.