판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9274762

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP는 100 nm 미만의 치수를 갖는 장치의 초미세 패턴을 가능하게하도록 설계된 "포토 esist" 장비입니다. FSI Mercury MP는 전자 빔 리소그래피, x- 선 리소그래피, 이온 빔 리소그래피, 직접 레이저 리소그래피, 나노 상표 리소그래피 등 다양한 방식으로 이러한 정밀 패턴을 달성 할 수 있습니다. 이 시스템은 G 라인 248nm 및 I 라인 365nm 초미세 사진 촬영 렌즈를 사용하여 최대 선폭 13.5nm의 고해상도를 제공합니다. 또한, 디지털 빔 강도 제어 장치 (digital beam intensity control unit) 는 높은 정확도 패턴화와 생산 중 향상된 오버레이 정확도를 위해 전자 빔의 정확한 제어를 위해 사용됩니다. 이미지 최적화를 위해 TEL 머큐리 (Mercury) MP는 정교한 더블 도트 이미징 기술을 갖추고 있으며, 이를 통해 동일한 패턴으로 두 개의 다른 이미지를 사용할 수 있습니다. 높은 처리량을 보장하기 위해 TOKYO ELECTRON Mercury MP는 이미지, 매개변수 및 마스크 데이터에 대한 고급 통합 관리를 제공합니다. 이를 통해 엔지니어는 운영 층에서 이 정보를 원활하게 액세스할 수 있습니다. 기계 는 석판 인쇄 과정 을 정확 히 제어 하기 위해, 공정 조건 을 제어 할 수 있게 해 준다. 여기에는 온도, 습도, 입자 제어 및 공기 청결이 포함되며, 기계 단위로 조정할 수 있으며, 모두 실시간으로 모니터링됩니다. 머큐리 MP (Mercury MP) 는 정확한 패턴화 기능 외에도 완전하게 자동화된 제작 프로세스를 통해 완벽한 장치 통합을 제공합니다. 이를 통해 리소그래피, 에칭, 로드 및 마스킹 프로세스를 정확하게 제어하여 고수율, 고정밀 장치 생산이 가능합니다. 또한, 공정 제어 (process control) 는 온보드 고급 제어 장치 (advanced control unit) 의 도움을 받아 즉시 생산을 조정할 수 있습니다. 궁극적으로, FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP 툴은 최고 해상도와 정확도로 초고속 (ultra-fine) 장치 크기를 생산할 수 있도록 설계되었으며, 기술자는 고객이 원하는 장치를 안정적이고 일관성 있고 효율적인 방식으로 만들 수 있습니다. 이 photolithography 자산은 최첨단 장치 제작에 유용한 도구입니다.