판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9243803

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP
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ID: 9243803
System.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 고성능 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 장치 구성 프로세스 (device fabrication process) 에서 원하는 lithographic 패턴을 정확하게 적용할 수 있도록 설계되었습니다. 광감각성 "시스템 '은 감광성 화학 물질 을" 패턴' 화 된 광원 에 노출 시킴 으로써 "웨이퍼 '기질 에 무늬 로 된 설계 를 만들 수 있게 해 준다. FSI 머큐리 MP (Mercury MP) 는 밀도가 높고 복잡한 패턴뿐만 아니라 양성 저항과 음성 저항을 포함한 다양한 포토 esist 프로세스에 이상적입니다. 이 장치는 초고해상도 스캔 헤드, 고급 광자 탐지 (advanced photon detection), 펄스 압축 (pulse compression) 등 최고 수준의 정밀도 및 성능을 보장하는 다양한 기능을 제공합니다. 펄스 레이저 소스는 정확하고 반복 가능한 패턴화를 위해 400 ~ 800 나노 미터의 파장 범위를 갖습니다. TEL 머큐리 MP 머신 (TEL Mercury MP machine) 은 다중 레벨 패턴 인식 기능을 제공하여 다양한 기판에서 균일성과 정밀도를 달성 할 수 있습니다. 이 도구에는 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 빠른 설정과 작동이 가능합니다. 또한 에셋은 데이터 분석 (data analysis) 및 그래픽 오버레이 (graphic overlay) 기능을 제공하여 프로세스 결과를 정확하게 평가할 수 있습니다. 머큐리 MP (Mercury MP) 는 빠른 시스 시간을 달성하도록 설계되었으며 대용량 생산에 이상적입니다. 또한, 이 모델에는 민감한 부품을 보호하고 열 손상 위험을 줄이는 열 (thermal) 기능이 있습니다. 이 장비는 또한 안정성이 높으며, 완벽한 자동 모니터링 (monitorated monitor) 및 진단 시스템 (diagnostic system) 을 통해 최적의 성능과 낮은 장애율을 보장합니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Mercury MP는 포토레스 처리 프로세스에 이상적인 단위로, 고급 기능과 안정적인 성능을 제공합니다. 다단계 인식, 고해상도 스캔 헤드 (High-Resolution Scan Head), 자동 모니터링 및 진단 (Automated Monitoring and Diagnostics) 기능을 갖춘 이 기계는 모든 반도체 제조 프로세스에 필요한 석판화 패턴을 달성하기에 적합합니다.
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