판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9207075

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP는 반도체 장치 제조에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 주 프로세서 장치, 디지털 제어 하위 시스템, 액체 및 가스 처리 암으로 구성됩니다. 기본 프로세서 (Main Processor) 장치에는 통합 소프트웨어가 내장되어 있으며 photoresist 프로세스를 제어할 수 있는 유연성을 제공합니다. 패터닝 (patterning), 접촉 방지 (Contact-Resists) 개발 및 에칭 (Etching) 과 같은 광범위한 포토레시스트 프로세스를 제공하여 매우 정확하고 신뢰할 수있는 반도체 장치를 생산할 수 있습니다. 디지털 제어 하위 시스템에는 장치를 관리하는 VME 버스와 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 있습니다. 신속한 구입 장치, 드라이브 머신, 실시간 제어 기능으로 구성됩니다. 제어 도구 (Control Tool) 의 유연성을 통해 매개변수를 조정하고 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 액체 와 "가스 '처리" 암' 은 반도체 장치 의 표면 에 광전도체 용액 을 전달 하는 역할 을 한다. 포토레시스트를 장치 표면에 정확하게 분산시킬 수 있는 고성능 노즐 (Nozzle) 에셋이 장착되어 있다. 노즐 모델은 다양한 압력-그라디언트 노즐 (pressure-gradient nozzle) 을 특징으로하여 포토 esist의 지능형 분포를 가능하게합니다. 또한 노즐에는 장치 표면에 노즐을 정렬하기 위한 아크 키트 (Arc Kit) 가 장착되어 있습니다. FSI Mercury MP는 안전하고 효율적인 운영 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 스위치가드 (Switch Guard) 가 장착되어 있어 장비가 켜지거나 꺼지지 않도록 합니다. 또한, 비정상적인 상태가 발견되면 시스템이 자동으로 종료되도록 설계되었습니다. 이 장치는 낮은 전력 소비로 작동하며 저먼지 작동을 위해 설계되었습니다. TEL 머큐리 MP (Mercury MP) 는 우수한 수율을 가진 매우 정밀한 반도체 장치의 제조에 사용하도록 설계되었습니다. 이 제품은 유연한 디지털 컨트롤 (digital control) 하위 시스템과 효율적인 액체 및 가스 처리 암 (gas handling arm) 을 갖추고 있어 다양한 생산 공정에서 기계를 사용할 수 있습니다. 저전력 소비와 저먼지 가동은 반도체 업계의 매력적인 옵션으로 자리잡았습니다.