판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9160992

FSI MERCURY MP는 FSI의 최상위 포토 esist 시스템입니다. 가장 까다로운 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계된 완벽한 툴/기능 제품군을 제공합니다 (영문). 고급 해상도, 탁월한 정밀도, 일관된 프로세스 성능으로, MERCURY MP는 사용자의 모든 포토레지스트 (photoresist) 요구 사항을 다룹니다. FSI 머큐리 MP (MERCURY MP) 는 최첨단 광학 및 역학 시스템을 사용하여 최고의 정밀 성능을 제공하므로 미세 석판 촬영에서 감광 레이어 두께와 노출 시간을 미세 제어 할 수 있습니다. 이 시스템에는 내장 멀티 래디언트 헤드, 자동 레벨링 및 스프레이 제어, 자동 청소/세척 옵션, 자동 코팅/베이킹 옵션 등 다양한 액세서리가 장착될 수 있습니다. 또한 MERCURY MP는 외부 컴퓨터에 접속하여 원격 액세스 (Remote Access) 및 제어 (Control) 기능을 제공하거나 더 큰 자동 워크플로우로 통합할 수 있습니다. 이 기능은 연산자의 필요한 시간 (time) 과 포토리스 (photoresist) 프로세스를 완료하는 데 필요한 총 단계 수를 크게 줄입니다. 또한, 개방형 아키텍처 설계를 통해 FSI MERCURY MP를 사용하면 새로운 소프트웨어 툴을 신속하게 채택하고 통합할 수 있으며, 고급 기능과 자동화 기능을 활용하여 제품 판매 비용을 절감할 수 있습니다 (영문). 전반적으로 MERCURY MP는 안정적이고 일관된 포토리스 (photoresist) 플랫폼을 제공하여 정확성, 반복성 및 정확성을 보장합니다. 하이엔드 설계, 첨단 기술, 손쉬운 통합 기능을 갖춘 FSI MERCURY MP는 모든 마이크로 리토그래피 어플리케이션에 적합한 솔루션입니다.