판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #293595917

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP는 반도체, 마이크로 전자 및 기타 기판에서 고정밀 패턴 생산에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. MP는 단일 플랫폼, 높은 처리량, 완전 자동화된 솔루션으로, 미세한 회선과 3D 포토레지스트 패턴을 생산할 수 있으며, 뛰어난 반복성과 정확성을 제공합니다. 이 시스템은 진공로드 잠금 챔버 (vacuum load lock chamber), 프로그래밍 가능한 정렬 장치 (programmable alignment unit) 및 프로그래밍 가능한 스핀 코팅 메커니즘으로 구성됩니다. 이 기계에는 고정밀 등록을위한 디지털 이미징 도구와 노출을위한 LED 기반 광원이 있습니다. 진공로드 잠금 챔버 (vacuum load lock chamber) 는 깨끗한 자산 환경을 보장하며 대기 압력을 필요로 하지 않고 교환을 공구 화합니다. 프로그래밍 가능한 정렬 (programmable alignment) 모델을 사용하면 프로세스 챔버에서 기판을 자동으로 배치하고 정렬할 수 있습니다. 스핀 코팅 메커니즘 (spin coating mechanism) 은 두께가 일관된 포토리스 필름 (photoresist film) 과 중심에서 기질의 가장자리까지 균질한 필름을 적용하도록 설계되었습니다. 디지털 이미징 (Digital Imaging) 장비는 기판 및 저항의 자동 측정, 정렬 및 배치를 위한 고정밀 등록을 갖추고 있습니다. 등록 정확도는 0.5um 미만입니다. LED 광원은 각도와 노출 시간이 다른 백라이트 (backlight) 와 블랙라이트 (blacklight) 를 분리하여 노출 시간 (exposure time) 에 유연성을 부여하고 더 정밀하고 정확하게 반복 노출할 수 있습니다. MP는 다양한 포토레스 (photoresist) 재료를 수용하기에 충분히 유연하며, 다른 두께의 기판을 배치하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 주어진 면적당 먼지, 오염 물질, 입자를 줄이기 위해 설계되었으며, 네거티브 (negative) 및 첨가제 (additive) 과정과 같은 포토 esist 프로세스 배열에서 사용될 수 있습니다. 간단히 말해서, FSI 머큐리 MP (Mercury MP) 는 높은 수준의 반복성, 정밀성 및 정확성으로 신뢰할 수있는 생산성을 제공하는 다재다능한 포토 esist 장치입니다. 최고 수준의 다용성과 유연성을 제공하는 고성능 (HT) 기능을 갖춘 단일 플랫폼 솔루션입니다.