판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #293587873

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP는 반도체 장치 생산에 사용되는 포토 마스크를 만들도록 설계된 최고급 포토 esist 장비입니다. FSI 머큐리 MP (Mercury MP) 는 정교한 프로세스 조작 및 정확한 노출 제어를 수행하기 위해 고급 레이저 리소그래피 (lithography) 기술을 사용하여 매우 높은 해상도로 포토 마스크 생산을 가능하게합니다. TEL 머큐리 (Mercury) MP는 기본 SEMI 노출 및 도량형 표준을 활용하여 신뢰할 수있는 성능과 최고 품질의 포토 마스크 생산을 보장합니다. 이 시스템은 인체 공학적 (ergonomic) 운영자 콘솔과 빠른 설정과 작동을 가능하게 하는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 안정성과 작동 편의성을 위해 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON Mercury MP는 이중 노출 기능 및 향상된 노출 제어를 위해 2 ~ 3 개의 노출 레이저를 사용합니다. 이 장치에는 오버레이 기능이 있는 HDTV 정렬 머신이 있어 각 photomask 단계를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 도구는 또한 비접촉 도량형 (non-contact metrology) 기능을 제공하여 이미징 매개변수를 보정하고 패턴을 검사할 수 있습니다. 또한, Mercury MP는 레이저 빔 성능에 대한 매우 상세한 측정을 제공하는 고급 빔 진단 (beam diagnostics) 자산을 갖추고 있습니다. 이 모델은 이미징 수차 (Imaging Aberration) 및 레이저 노출과 관련된 기타 변수를 수정하여 수율을 향상시킵니다. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP는 전례없는 초점과 심도를 가지고 있으며, 기존의 석판 시스템보다 훨씬 넓은 영역에 걸쳐 훌륭한 패턴을 만들 수 있습니다. 이를 통해 대규모의 복잡한 photomask를 빠르고 안정적으로 생산할 수 있습니다. FSI Mercury MP는 포토 esist 시스템의 페이스 세터입니다. 최첨단 레이저 리소그래피 (lithography) 기술과 정확한 제어를 결합하면 가장 효율적인 방법으로 최고 품질의 포토 마스크 (photomask) 를 만들 수 있습니다. 이를 통해 TEL Mercury MP는 정확하게 제어 된 포토 마스크 제작이 필요한 모든 응용 프로그램에 이상적인 선택이됩니다.