판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #192650

FSI MERCURY MP는 프로덕션 환경에서 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공하도록 설계된 고성능 디지털 포토레시스트 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 정밀 마이크로 패턴화를 위해 고급 공정 제어 알고리즘과 결합 된 검증된 고해상도 광학 이미징 소스를 갖추고 있습니다. 고급 반도체 소자 제조에서 초미세 응용 분야에 적합합니다. 이 장치의 해상도는 1 천 미크론 이상이며, 이미지 품질이 우수한 5 개 이상의 정밀 라이너 간격으로 여러 레이어를 처리 할 수 있습니다. FSI 독점 UPG (Universal Pattern Generator) 기술과 특허 공정 제어 알고리즘을 갖춘 고급 고해상도 광학 이미징 소스를 갖추고 있습니다. 통합 머신은 FIB (focused-ion-beam) 정렬 및 패턴화를 수행하여 사용자가 여러 레이어에서 균일한 선 너비와 간격을 얻을 수 있도록 합니다. 이 도구는 또한 최적화된 통합 프로세스 레시피 (recipe) 를 제공하여 모든 유형의 기판에서 최적의 결과를 제공합니다. 즉, 이미지 파장보다 작은 기능과 높은 화면 비율로 장치 패턴화를 가능하게 하는 내장형, 고사양 광학 (optic) 이 있습니다. 이 자산은 또한 여러 개의 린스 옵션, 반사 방지 코팅 (anti-reflective coating) 및 특정 프로세스 요구 사항에 적합한 다양한 차폐 재료를 제공합니다. MERCURY MP는 수율을 극대화하고 주기 시간을 최소화하도록 설계되었습니다. 이 모델은 모든 사고 (Incident) 및 작동 매개변수를 추적하기 위한 통합 센서 (Integrated Sensor) 및 데이터 로깅 도구 (Data Logging Tools) 와 함께 최고 품질 (Quality) 표준으로 설계 및 유지 관리됩니다. 또한 다양한 온보드 프로세스 레시피가 포함되어 있습니다. 이 장비는 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 제어를 위한 종합적인 소프트웨어 제품군을 제공하며, 최신 기술과의 호환성을 보장하기 위해 새로운 릴리즈마다 업데이트됩니다. 이는 고급 하드웨어 모니터링, 피드백 시스템, 지능형 단계별 프로세스 최적화 알고리즘과 결합하여 품질 관리 및 반복 기능을 최대화합니다. 전반적으로 FSI MERCURY MP는 고정밀 포토레지스트 어플리케이션을 위한 포괄적이고 정교한 솔루션을 제공합니다. 이 제품은 생산 환경에서 안정적이고, 반복적으로 사용할 수 있는 성능을 제공하며, 수익률을 극대화하고, 출시 시간을 단축할 수 있도록 설계되었습니다.