판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-i #9358787

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-i는 고정밀 패턴 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 마이크로 구조를 서브 미크론 해상도의 기판에 엠보싱할 수 있습니다. 통합 장치에는 PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Chamber), 스핀 코터 및 제품 응용을위한 프로세스 단계를 최적화하는 노출 헤드가 포함됩니다. PECVD 챔버는 실리콘 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼, 세라믹 기판과 같은 기판에 photolithography-grade photoresist 코팅을 입금하는 데 사용됩니다. 스핀 코터 (spin-coater) 는 기판의 저항 코팅의 균일 한 분산을 최적화하여 부드럽고 심지어 코팅을 보장하는 데 사용됩니다. 노출 헤드는 "단계 및 반복" 및 "단계 및 스캔" 기능을 사용하여 코팅 된 기판에 고해상도 (1 미크론 미만) 포토 마스크 패턴을 전달합니다. 이 매우 민감한 기계는 0.25 미크론 (micron) 보다 작은 기능을 해결할 수 있으며 넓은 영역에 균일성을 보장합니다. 이 도구에는 스핀 코터 (spin-coater) 및 노출 헤드 (exposure head) 외에도 자동화된 트랙 및 공구 에셋이 포함되어 있어 프로세스 라인에서 빠르게 변경이 가능합니다. 모델에 통합된 소프트웨어는 사용자에게 이미지 데이터 및 고급 패턴 인식 기능 (Advanced Pattern Recognition Capability) 에 대한 액세스를 제공합니다. 이 기능을 사용하면 장비가 포토 마스크 (photoresist pattern) 를 식별하고 코팅 된 기판에 정확하게 전달 할 수 있습니다. FSI Lithius Pro V-i photoresist 시스템은 업계 최고의 설계, 안전 및 프로세스 자동화 기능을 통해 설치와 사용이 간편합니다. 이 장치의 모든 구성 요소는 품질이 가장 높아, 안정적이고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 정밀도, 속도, 확장성, 유연성, 비용 절감 등으로 인해 가장 까다로운 사진 해설법 (photolithography) 애플리케이션을 위한 이상적인 머신이 됩니다.