판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON HELIOS 52 #293640333

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON HELIOS 52는 반도체 산업의 리소그래피에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 그것은 photoresist 재료와 절연 필름을 개발하고 노출시키는 데 사용됩니다. 이 기계는 정확하고 신뢰할 수있는 이미징 (Imaging) 을 제공하며 현대의 설계 요구 사항에 필요한 저항을 제공합니다. FSI HELIOS 52는 고성능 다중 이미징 단계 (Multiple Imaging Stage) 를 사용하여 안정적인 광학 성능을 보장하며, 향상된 제조 공정을 위한 광범위한 이미징 정확성을 제공합니다. 이 시스템은 2 개의 모터, 스테퍼 모터와 아연 도금계 거울로 구성됩니다. 정밀 스테퍼 모터는 미세한 인선 변위를 제어하고, 검류계는 빠른 평면 이동을 제어합니다. 광학 범위는 5 배 오브젝티브 렌즈로 구성되어 1 인치 웨이퍼에서 최대 1.15 미크론의 고해상도 이미징을 달성합니다. 전용 왜곡 미러 케이지 (low distortion mirror cage) 를 사용하여 더 높은 수준의 정확도를 얻을 수 있습니다. 텔 헬리오스 52 (TEL HELIOS 52) 는 또한 온도 조절 습도 챔버를 특징으로하며, 응고 온도, 습도 및 노출 조건을 일정한 수준으로 유지하도록 설계되었으며, 특히 사진 해설에 중요합니다. 또한 스캐너 위치 탐지기 (scanner position detector) 를 사용하여 이미징 평면을 더 세밀하게 배치하고 정렬할 수 있습니다. 이 기계는 드라이 폴 (dry-pole), 2- 성분 화학 프로세스 장치를 사용하여 포토 esist 물질을 에치하고, 포토 esist 물질을 린스하여 처리 잔기를 제거한다. 이 기계는 높은 오버레이 정확도와 짧은 처리 시간이 필요한 프로세스를 위해 특별히 설계되었습니다. 또한 자동화된 저항 처리 카세트, 드라이 필름 개발자 카세트, 노출 카세트를 장착하여 다운타임 및 로드 시간을 줄입니다. HELIOS 52는 필름 균일성을 지속적으로 제어함으로써 처리량, 정확도, 수율이 높은 다양한 패턴을 안정적으로 노출 할 수 있습니다. 최첨단 사진 해설기 (photolithography machine) 는 반도체 산업용으로 설계되었으며 최첨단 장치 생산에 적합합니다. 이 기능은 효과적이고, 안정적이며, 정밀한 이미징 도구를 원하는 사람들에게 탁월한 선택입니다.