판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON EXCALIBUR #9137323

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON EXCALIBUR는 최대 100nm 해상도의 고정밀도 이미지를 만들도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 디지털 (digital) 및 아날로그 (analogue) 형식으로 빠르고 고해상도 이미지를 제작할 수 있습니다. 이 시스템은 4 가지 주요 구성 요소 (노출 장치, 전동 단계, 챔버 및 포토 esist 장치) 로 구성됩니다. 노출 기계에는 기판에 회절 된 빛을 지시하기위한 조명 소스, 균일 한 조명을 생성하기위한 디더링 모터, 빛의 강도를 제어하기위한 셔터, 빔을 집중하기위한 광학 렌즈 (optical lenses) 가 포함됩니다. 동력 단계 (motorized stage) 는 노출 된 영역을 찾기 위해 챔버 주위의 기판을 움직이는 역할을 한다. 약실 은 진공 상태 를 조성 하는 역할 을 하는데, 이 진공 장치 는 기판 을 처리 할 때 높은 수준 의 정확도 를 허용 한다. 광저항 장치 (photoresist unit) 는 이미지의 다른 레이어를 적용하는 데 사용되는 광저항의 올바른 화학적 조성을 제공한다. 공구는 기판을 동력 단계 (motorized stage) 에 배치하고 조명원 (lumination source) 아래의 기판을 노출해야 할 칩의 다른 지점으로 이동하여 작동합니다. 노출 원을 제어함으로써, 이미지 영역이 조명되고, 포토 esist의 화학 물질이 활성화된다. 그런 다음 기판을 다음 지점으로 이동하고 동일한 절차를 반복합니다. "포토레지스트 '의 화학 물질 은 노출원 으로부터의 빛 에 반응 하여, 기판 위 에 층 을 만들어 내며, 후 에" 이미지' 가 된다. 일단 공정 이 끝나면, 기질 을 개발 하기 위해 약실 로 옮긴다. 여기 에는 필요 한 화학 물질 로 "기판 '을 회전 시키고" 린스' 하는 기계 가 포함 된다. 이렇게 하면 과도 한 사진술사 를 씻고, 깨끗 하고 고해상도 의 "이미지 '를 남기게 된다. FSI EXCALIBUR 에셋은 고급 사진 촬영 (Advanced Photolithography) 프로세스에 사용되어 디지털 및 아날로그 형식 모두에서 고정밀도 및 고품질 이미지를 생성하는 데 적합합니다. 즉, 고급 (Advanced) 모터화 (Motorized) 스테이지 기능을 사용하여 이미지의 정확도를 극대화하고 출력이 최고 수준의 품질로 유지되도록 합니다. 또한, 기판 을 신속 히 처리 할 수 있어, 단기간 에 대규모 "볼륨 '을 생산 할 수 있다. 이 모델은 사용자에게 신뢰할 수 있고 고성능 포토레지스트 (photoresist) 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다.