판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Excalibur ISR #293760314

FSI EXCALIBUR ISR (FSI EXCALIBUR ISR) 은 최첨단 포토리스토그래피 프로세스 및 어플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 세계적인 포토레지스트 시스템입니다. 이 고급 시스템은 포토레스 처리 (photoresist processing) 용 응용 프로그램을 확장하고 디지털 이미징 및 포토닉스 (photonics) 의 세계로 포토리스토그래피를 제공합니다. EXCALIBUR ISR은 중간 규모 및 대용량 생산 환경을 위해 설계되었습니다. 48 비트 색상 깊이, 7 초 주기 시간, 500 개의 프로젝트/최소 처리 속도를 갖춘 고성능 스캐너로 제작되었습니다. 통합 마이크로 디스펜싱 시스템을 사용하면 나노 리터 정확성과 반복 성을 갖춘 애플리크 연산을 할 수 있습니다. 통합 된 R2R (Roll-to-Roll) 웹 전송은 또한 대규모 포토 esist 롤을 원활하게 처리 할 수 있습니다. 일관적이고 창의적인 패턴을 위해 FSI EXCALIBUR ISR에는 다양한 소프트웨어 기반 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 작업 편집기, 패턴 라이브러리, VDS (Variable-Dot Size) 기능 및 PT (Pattern Transform) 도구가 포함됩니다. [작업 편집기] 를 사용하면 photolithography 프로세스의 값과 설정을 쉽게 조정할 수 있습니다. 패턴 라이브러리는 널리 사용되는 포토레지스트 프로세스에 대한 사용 가능한 작업을 제공합니다. VDS 툴을 사용하면 엔지니어 (Engineer) 가 프로세스 중에 패턴 크기와 모양을 빠르고 정확하게 변경할 수 있습니다. 마지막으로, PT 도구를 사용하면 패턴을 대상 영역 크기로 자동으로 조정할 수 있습니다. EXCALIBUR ISR은 가장 진보 된 photolithography 프로세스를 빠르고 정확하게 완료 할 수 있습니다. 정교한 기능, 강력한 프로세서, 민첩한 웹 전송을 통해 복잡한, 고속, 고정밀 포토레지스트 (photoresist) 프로세스에 이상적인 플랫폼을 제공합니다. 전반적으로 FSI EXCALIBUR ISR (FSI EXCALIBUR ISR) 은 Photolithography Toolbox의 필수 도구로, 뛰어난 성능과 정확도로 고급 photolithoshop 응용 프로그램을 완료 할 수 있습니다.