판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON / DESPATCH CT200 #9355259

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON/DESPATCH CT200은 고성능 정밀 설계 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 다양한 반도체 시장의 고급 사진 촬영 (photolithography) 요구 사항을 충족시키도록 설계되었으며, 가장 정교한 반도체 부품의 제조를위한 초정밀 화학 가공 플랫폼 (ultra-precision chemical processing platform) 을 제공합니다. FSI CT200은 다양한 독점 기술을 사용하여 진공 팬 인 또는 스핀 온 포토 esist 패턴을 생성합니다. 이 장치는 무접촉 직접 쓰기 (direct-write) 방법과 마이크로 제작 (micro-fabrication) 기술을 결합하여 사용자가 나노미터 수준에서도 복잡하고 매우 상세한 기능을 만들 수 있습니다. 이 기계는 모든 프로세스 컴포넌트를 안내하는 고도로 정교한 로봇 (robotics) 제어 도구 (control tool) 와 다양한 응용 프로그램에 맞게 맞춤 구성할 수있는 다양한 소프트웨어 설정 (setting) 을 갖추고 있습니다. TEL CT200은 고해상도 이미지 스캐너 (high-resolution image scanner) 와 고속 패턴 이동 에셋 (movement asset) 을 사용하여 최대 해상도 10um에서 저항의 초정밀 패턴 작성을 지원합니다. 사용자 프로그래밍 가능한 초점 및 노출 설정은 각 응용 프로그램의 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 모델은 연속 또는 세그먼트 패턴을 인쇄 할 수도 있습니다. CT200은 기판을 사전 처리하고 배치 및 정렬 프로세스를 관리하기 위해 진공 프레임 (vacuum framer) 을 통합합니다. 광학 깊이 1.5로 한 번에 최대 4 "기판을 처리 할 수 있습니다. 이 장비는 표준 노출 시간 (20 밀리초) 을 허용하며 시간당 최대 2,000 개의 이미지를 인쇄할 수 있습니다. DESPATCH CT200은 다양한 반도체 생산 프로세스의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 탁월한 성능과 정확한 제어를 통해이 시스템은 복잡한 사진 해설법 (photolithography) 응용에 적합한 선택입니다.