판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Carts for Saturn MP #9233650

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Carts for Saturn MP는 FSI International, TEL 및 Lam Research가 개발 한 고성능 포토 esist 장비입니다. 탁월한 필름 예금 결과, 작은 설치 공간, 최대 유연성 등을 제공하도록 설계된 자동화된 프로세스 솔루션입니다. 이 시스템은 조절 된 질산 증기 전달 장치를 사용하여 포토 esist 물질을 웨이퍼에 뿌립니다. 그런 다음 웨이퍼가 노출되어 울트라 바이올렛 광원에 처리됩니다. 기계는 '이중' 챔버 레이아웃으로 설계되었습니다. 즉, 공구는 2 개의 진공 챔버를 사용합니다. 전면 챔버 (front chamber) 는 많은 양의 진공 압력을 가지고 있으며, 포토 esist 물질을 최적의 상태로 유지 한 후 웨이퍼 (wafer) 에 분산시킵니다. 이 챔버는 또한 노출 전에 웨이퍼의 사전 처리에 사용됩니다. 리어 챔버는 울트라 바이올렛 광원에 노출되기 위해 사용됩니다. 이 챔버에는 여러 개의 카트리지가 장착되어 있으므로 한 번에 여러 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. Saturn MP 자산은 뛰어난 두께 균일성, 유연성 및 빠른 응답 시간을 제공할 수 있습니다. 또한 즉석 조정을위한 여러 프로세스 컨트롤이 장착되어 있습니다. 가열 된 챔버 (chamber) 는 최대 650 ° C의 온도를 가질 수 있으며, 추가 프로세스 유연성을 위해 플라즈마 에치 챔버 (plasma etch chamber) 를 장착 할 수있다. 통합 도구는 전체 처리 시간을 최대 70% 단축하도록 설계되었습니다. 초저감쇠 (ultra low damping) 기능은 최소한의 진동 및 최소한의 교란으로 동적 프로세스 조정을 가능하게 합니다. 모니터/경보 장비는 시스템 상태 및 성능에 대한 실시간 보고를 제공합니다. 또한 Saturn MP 장치에는 통합 멀티 웨이퍼 로더 (multiple-wafer loader) 또는 로봇 암 (robotic arm) 또는 온보드 가스 전달 및 복구 머신과 같은 고급 옵션 기능이 있습니다. 또한, 통합 레시피 툴 (Integrated Recipe Tool) 을 사용하면 버튼의 간단한 푸시로 액세스 할 수있는 최대 15 가지 프로세스 레시피를 유연하게 저장할 수 있습니다. 결론적으로, FSI Carts for Saturn MP 자산은 탁월한 필름 예금 결과, 작은 설치 공간 및 최대 유연성을 제공하는 지능적으로 설계된 자동 프로세스 솔루션입니다. 모든 포토 esist 디자이너에게 강력한 도구입니다.