판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Atlas #57163

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Atlas는 반도체 웨이퍼에 나노 스케일 패턴을 만들도록 설계된 차세대 포토 esist 장비입니다. 프로세스 제어를 위한 포괄적인 기능을 제공하며, 이미지 처리 후 (post-imaging) 및 처리 전 (pre-processing) 작업을 모두 수행할 수 있습니다. 이 시스템에는 반도체 웨이퍼 (Wafer) 에 패턴을 만들기 위해 광저장층 (photoresist layer) 에 빛을 노출시키는 고급 사진 영상 도구가 장착되어 있습니다. 360 nm ~ 800 nm 사이의 파장에서 기능하며, 다른 저항과 사진 프로세스의 특성에 맞게 조정할 수 있습니다. 사진 이미지 도구는 0.2 "m 이하의 해상도를 달성 할 수 있습니다. 이 장치에는 또한 활성 안정화 (active stabilization) 를 특징으로하는 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 가 포함되어 있으며, 이는 원하는 나노 스케일 정확도를 달성하는 핵심 기능입니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 는 다양한 웨이퍼 크기와 두께를 지원하며 레이저 마스크 쓰기와 같은 빠른 반복 프로세스를 지원합니다. FSI 아틀라스 (Atlas) 에는 높은 처리량으로 프로세스 단계를 수행할 수있는 고속 로봇이 장착되어 있습니다. 여기에는 웨이퍼의 패턴을 정확하게 수정하는 데 사용할 수있는 마이크로 프로세싱 헤더 (microprocessing header) 가 포함됩니다. 또한 고급 저항제 (Resist) 관리 기능을 통해 저항층 (Resist Layer) 을 깨끗하고 안정적으로 개발할 수 있습니다. 또한 프로세스 매개 변수를 원격 모니터링하여 프로세스 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고효율의 화학 관리 기술 (chemical management technology) 과 함께 제공되는데, 이 기술은 포토 esist의 코팅과 개발을 정확하게 제어하는 데 사용될 수 있습니다. 이 화학 관리 도구 는 결함 있는 "칩 '수 를 줄이는 데 도움 이 된다. 또한, 자산은 제조 실행 모델 (manufacturing execution model) 과 통합되어 장기 동안 전체 저항 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, TEL Atlas는 반도체 웨이퍼의 고정밀 나노 스케일 제조를 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 제품은 사전 처리 (pre-processing) 및 사후 이미지 처리 (post-imaging) 프로세스를 위한 강력한 기능을 제공하여 사용자가 안전하고 안정적으로 패턴을 만들고 수정할 수 있도록 합니다.