판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares #9399583

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares 장비는 고급 반도체 장치 제조를 가능하게하도록 설계된 고정밀도 포토리스 포토 리토 그래피 시스템입니다. 이 장치는 고급 기술을 사용하여 반도체 제조에서 최첨단 장치 생산을 가능하게합니다. FSI Antares 기계에는 EDoF (Extended Depth of Focus) 기능이 장착되어 있으며 600mm x 600mm 패널 내에서 복잡한 패턴을 생산할 수 있습니다. 고정밀 광학 작동 거리를 통해 TEL 안타레스 (TEL Antares) 도구는 고급 이종 접합 트랜지스터 및 집적 회로 (hetero-junction transistor and integrated circuit) 의 생산에 필요한 0.5jm의 공정 해상도를 달성 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Antares 자산의 중심에는 고급 포토 esist 기술이 있습니다. 이 모델은 광학 (optical) 과 화학 (chemical) 방법의 독특한 조합을 사용하여 포토레스 코팅 공정의 정확한 제어를 보장합니다. KF (실록산-기반) 및 PMMA (폴리메틸 메타 크릴 레이트) 를 포함한 다양한 광 esist 화학 물질이 지원된다. 또한, Antares 장비는 photoresist 코팅의 두께를 정확한 사양에 맞게 빠르고 정확하게 조정할 수 있습니다. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares 시스템은 정확한 포토레지스트 (photoresist) 기술에 추가로 사용자에게 완벽하고 정확한 포토 리스토그래픽 프로세스를 보장하는 다양한 고급 기능을 제공합니다. 여기에는 노출 시간의 고급 제어, 조명 전력 수준 및 회절 제한 초점 제어가 포함됩니다. 또한 FSI Antares 장치는 석영, 알루미늄, 실리콘, 폴리 이미 드 등을 포함한 다양한 재료와 호환됩니다. 정확한 포토레스 기술, 고급 제어 기능 및 다양한 재료의 조합으로 인해 TEL 안타레스 (TEL Antares) 는 반도체 장치 생산에 이상적인 플랫폼이되었습니다. 이 도구는 다양한 복잡한 패턴을 생성하는 데 사용될 수 있으며, 5nm 트랜지스터 (transistor) 와 같은 작은 형상을 생성하는 데 이상적입니다. 또한, TOKYO ELECTRON Antares 에셋을 사용하면 photolithography 프로세스를 세밀하게 튜닝하여 최첨단 장치 구성 요소를 고정밀 제작할 수 있습니다. 결론적으로, 안타레스 (Antares) 모델은 최첨단 반도체 장치 생산을위한 다양한 고급 기능을 제공하는 고정밀 포토레시스트 사진 촬영 장비입니다. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares 시스템은 정확한 포토레스 제어와 다양한 호환 물질로, 작은 기하학과 복잡한 구조를 가진 복잡한 패턴을 생산하기에 적합합니다.