판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares #9302856

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares는 집적 회로 및 기타 마이크로 일렉트릭 제품의 생산 등급 처리를 위해 특별히 설계된 포토 esist 장비입니다. 포토 esist 시스템은 리소그래피 프로세스 동안 향상된 정확성과 높은 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 광전자는 전자빔에 의해 방출 된 에너지에 반응하는 빛 민감성 물질 (light-sensitive material) 이다. 빛에 노출 될 때, 그것은 물리적 특성을 변화시키는 화학 반응 (chemical reaction) 을 겪으며, 결과적으로 저항성 층 (resistive layer) 을 생성하여 설계의 특정 부분을 영향을받을 수 있습니다. FSI Antares 장치는 고급 고해상도 포토레시스트 (photoresist) 기술을 사용하여 장치 레이어의 원활한 이미지 전송 및 고수율 패턴을 보장합니다. TEL Antares 기계는 정밀한 프로세스 제어를 보장하는 자동화된 엔드 투 엔드 제어 도구를 통합합니다. 이 에셋은 고속 (High-Quality Resist) 패턴을 생성할 수있는 동적 패턴 작업 기능을 특징으로하며, 높은 수율을 달성하는 데 필수적인 가파른 측면벽이 있습니다. 모델의 추가 특징은 노출 된 패턴의 선폭을 1/4 미크론 (micron) 의 해상도까지 정확하게 제어 할 수있는 기능입니다. 또한 이 기능을 사용하면 최적의 측면 벽 평면 및 게이트 프로파일에 대한 정밀한 오버행 제어가 가능합니다. 또한, 도쿄 전자 안타레스 (TOKYO ELECTRON Antares) 장비는 온도 모니터링 및 저항 측정을 포함하여 광범위한 프로세스 지원을 제공하여 모든 증착 및 에칭 프로세스를 고급 제어할 수 있습니다. 또한 유연한 로드 템플릿 (loading template) 및 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 기능을 통해 에지 투 에지 (edge-to-edge) 배치를 통해 전체 웨이퍼에 걸쳐 정확한 기능 복제를 수행할 수 있습니다. 안타레스 (Antares) 포토레시스트 (photoresist) 장치는 제품을위한 고품질의 일관된 장치를 생산하려는 많은 주요 반도체 회사에 의해 채택되었습니다. 고급 제어기 (Advanced Control Machine) 와 세부적인 주의 (Attention to Detail) 를 통해 보다 효율적인 구성 프로세스를 통해 더 높은 수율과 안정적인 반복 가능한 장치 특성을 구현할 수 있습니다.