판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #9234274
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ID: 9234274
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Cryokinetic cleaning system, 12"
Main body
System resource module
(2) Process modules
(3) Load ports
PC Unit
A-Box
FFU Cover
2005 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares CX는 석판 공정에서 뛰어난 성능을 제공하도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 마이크로일렉트로닉스 (Microelectronics) 업계에 귀중한 툴로서 전자 부품의 고급 마이크로 제작이 가능합니다. FSI Antares CX 시스템은 여러 가지 구성 요소로 구성되어 있으며, 이는 고화질 리소그래피를위한 포토 esist 자료를 노출시키기 위해 함께 작동합니다. 장치의 중심에는 제작을 위해 고정밀 패턴을 생성하는 LED (Light Emitting Diode) 패턴 생성기 (Pattern Generator) 가 있습니다. LED 패턴 생성기 (LED Pattern Generator) 는 사용자 정의 데이터에 의해 제어되며, 다양한 패턴을 생성할 수 있습니다. LED 패턴 생성기 (LED Pattern Generator) 는 투영 광학 어셈블리에 연결되어 있으며, 이 광학 어셈블리는 photoresist 재료 표면에 이미징 광을 투영하는 역할을 합니다. 이 광학 장치 (optics assembly) 는 표면에 걸쳐 빛을 균일하게 분산시키도록 설계되었으며, 여러 파장을 분산시키기 위해 조정할 수 있습니다. 최적의 수율을 얻으려면 photoresist 재료를 프로젝트 이미지에 정확하게 정렬해야합니다. 이를 위해 TEL Antares CX 시스템은 자동 정렬 기능을 설계에 통합합니다. 이렇게 하면 도구가 photoresist 재료를 투사된 이미지에 자동으로 정렬하여 매번 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON Antares CX 자산은 최고 속도와 효율성을 위해 설계되었으며, 프로젝션 광학이 더 빠른 패턴 제작을 위해 photoresist 물질을 빠르게 스캔 할 수 있습니다. 이것은 대용량 클린 룸 (clean room) 모델에 의해 달성되며, 이는 공기 입자의 양을 줄여 리소그래피 결과의 품질을 향상시킵니다. 결론적으로, 안타레스 CX (Antares CX) 는 전자 부품의 뛰어난 제작을 가능하게하도록 설계된 완전한 포토레시스트 장비입니다. 이미징 조명, 자동 정렬 기능, 대용량 클린 룸 (clean room) 시스템을 동적으로 제어하여 효율성을 극대화합니다.
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