판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #293652980
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares CX는 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 이온 이식, 화학 에칭, 스핀 코팅 (spin coating) 의 원리를 사용하여 다양한 재료에 최고 품질의 포토 esist 층을 보장합니다. 이 단위에는 미리 정해진 패턴을 만들기 위해 포토 esist 층에 이온을 임플란트하는 정밀한 이온 임플란터가 포함됩니다. 만들어진 패턴을 전송 에치 패턴 (transfer etch pattern) 이라고하며 photoresist 자체를 사용하여 원하는 마스크 레이어를 생성합니다. 그런 다음, 이 보호 레이어를 여러 재료 기판에 에칭하여 구조를 만듭니다. "스핀 코우트 '응용 프로그램 이" 머신' 에 포함 되어 "포토레지스트 '를 기판 에 균일 하게 분포 시킨다. 이 프로세스는 최고 수준의 정밀도를 보장하기 위해 고품질의 온도 조절 환경에서 수행됩니다. FSI Antares CX 는 모든 고객 사양을 충족하는 다양한 툴을 제공합니다. 이 자산에는 추가 장비 (옵션) 와 기능 확장을위한 지원 구성 요소가 있습니다. 여기에는 추가 정밀 모란, 고밀도 이온 빔 시스템, 다양한 응용에 가장 높은 수준의 정밀도 및 제어를 제공하도록 설계된 전자 빔 시스템 (electron beam system) 이 포함됩니다. 처리량 향상을 위해 이 모델에는 포토레시스트 (photoresist) 처리를 완료하는 데 걸리는 시간을 줄이고 전반적인 정확도를 향상시키도록 설계된 자동화된 함수 (automated function) 가 포함되어 있습니다. 이 장비는 또한 여러 운영 모드를 포함하며, 다른 작업과 작업에 맞게 조정할 수 있습니다. TEL 안타레스 CX (Antares CX) 는 처리량 및 품질 향상과 함께 일관되고 안정적인 결과를 제공하는 모든 반도체 제작 프로세스에 이상적인 포토리스 시스템입니다. 장치 설계는 개별 사용자 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수도 있습니다.
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