판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 915597-005 #9360974

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 915597-005는 집적 회로 (IC) 제조에서 웨이퍼 처리를 위한 정밀 에칭을 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 간격, 독립적 인 램프 챔버 어레이의 빔 구동 장치를 기반으로합니다. 이 기계는 IAL (Intelligent Auto Level), AEO (Automatic Exposure Output) 및 HRS (High Resolution Machine) 와 같은 고급 특허 기술을 사용합니다. IAL 도구 (IAL tool) 는 광저항 레이어의 광학 밀도 측정을 적용한 다음 IC 장치에 대한 레이아웃 패턴 (layout pattern) 의 반응과 가장 적합한 노출 조건을 일치시킬 수 있습니다. IAL 은 임의의 환경 조건에 대한 조정과 더불어 신뢰할 수 있는 단계 (step) 및 반복 리소그래피 (repeat lithography) 를 제공하여 초고해상도 패턴 (light level difference) 이 있더라도 안정성을 보장합니다. AEO 에셋은 복잡한 패턴을 photoresist로 옮길 때 안정적인 성능을 보장합니다. 조명하는 동안 정확한 제어 및 빛의 노출 기간을 제공하고 IC 디자인으로 전송합니다. 이 기계 는 또한 빛의 강도 (light intensity) 의 양, 노출 범위 (exposure range) 의 폭, 처리 영역 (processing area) 에 따른 빛의 균일성 (unifority) 과 같은 요인 들 을 고려 한다. HRS 기능은 photoresist 처리 정확도를 향상시켜 초고해상도 레이아웃 패턴을 만들 수 있습니다. 디지털 제어 (digital control) 와 신호 처리 (signal processing) 를 결합하여 최고 수준의 정밀도를 유지하기 위해 고속 노출로 발생할 수있는 불규칙성을 수정합니다. 이를 통해 에칭 중에 투영 (projection) 과 패턴 (pattern) 이 정확하게 복제되어 품질이 저하되지 않도록 할 수 있습니다. FSI 915597-005 포토레시스트 (photoresist) 모델은 최고의 업계 표준을 충족하는 정확도 수준으로 고성능 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 지능형 자동 레벨 (Intelligent Auto Level), 자동 노출 출력 (Automatic Exposure Output) 및 고해상도 장비 (High Resolution Equipment) 를 조합하여 집적 회로 제조에서 현실적인 디자인과 에칭 패턴을 만드는 데 이상적인 솔루션입니다.