판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 915597-005 #293700892

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 915597-005 장비는 고급 석판 패턴 프로세스를 위해 설계된 포토 esist 처리 시스템입니다. 이 장치의 구성 요소에는 스핀 프로세서, 이미징 챔버, 포토 esist 전달 머신이 포함됩니다. 스핀 프로세서는 기판을 포토 esist 물질로 균등하게 코팅합니다. 스핀 (spin) 프로세서는 직접 드라이브 기술을 사용하여 프로세서의 속도를 정확하게 제어합니다. 스핀 프로세서 (spin processor) 는 또한 기판에 필요한 포토레시스트 (photoresist) 재료의 양을 분배하며, 다른 프로세스 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있습니다. "이미징 챔버 '는 기질 을 빛 에 노출 시키기 위한 조절 된 환경 을 제공 하는 역할 을 한다. 이 챔버에는 이미지 해상도의 스테이지 이동을 세밀하게 조정하는 동작 제어 도구 (motion control tool) 가 장착되어 있습니다. 챔버에는 기판을 조명하기위한 플래시 광원이 내장되어 있습니다. 포토레시스트 전달 자산은 스핀 (spin) 프로세서에 일관된 포토레지스트 재료 공급을 담당한다. 이 모델에는 포토리스 (photoresist) 물질을 정화시키고 오염을 방지하기위한 필터 장비가 있습니다. FSI 915597-005 시스템은 매우 정확한 포토 esist 증착 과정을 제공하도록 설계되었습니다. 다이렉트 드라이브 (Direct Drive) 기술과 모션 제어 장치 (Motion Control Unit) 를 활용하여 프로세스 변경이 적은 기판의 적용 범위를 제공 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 비 uniform 레이어 두께로 인한 라인 크기 변화를 줄일 수 있습니다. 또한, 플래시 광원은 더 높은 해상도를 위해 기질의 조명을 제공 할 수 있습니다. 전반적으로, TEL 915597-005 도구는 매우 정확한 포토 esist 증착 과정을 제공하는 고급 포토 esist 처리 자산입니다. 이 장비의 스핀 프로세서 (spin processor), 이미징 챔버 (imaging chamber) 및 포토레스 (photoresist) 전달 모델이 함께 작동하여 정확하고 일관된 기판 커버리지를 제공합니다. 이 시스템은 라인 크기 변동 (line-size variation) 을 줄일 수 있으며, 더 높은 해상도를 위해 기판의 노출을 제공 할 수 있습니다.