판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 2134N #9109608

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 2134N은 마이크로 전자 부품 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 통합 프로세스 제어, 고해상도, 정밀 이미징, 자동 기판 처리 솔루션 등을 갖춘 고급 장치입니다. FSI 2134N은 고급 이미징 기술을 사용하여 고해상도와 정밀 이미징을 제공합니다. 이를 통해 장치의 photoresist 레이어를 정확하고 빠르게 노출 할 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 직접 레이저 작성을 사용하는 레이저 도구, 정확한 균일성 제어를 위한 노출 제어 자산, 빠른 반응을 가능하게 하는 고속 축적 모델 (High Speed Accumulation Model) 과 같은 고급 기능이 포함되어 있습니다. TEL 2134N은 통합 프로세스 제어도 제공합니다. 여기에는 중요한 치수를 정확하게 측정 할 수있는 혁신적인 in-situ 레이저 간섭계가 포함됩니다. 또한, 이 장비에는 기판의 로드 및 언로드를 용이하게하는 자동 기판 처리 시스템 (Automated Substrate Handling System) 과 완전 자동 설정 및 운영 프로세스 (Fully Automated Setup and Operation Process) 가 포함되어 있습니다. 2134N (photoresist unit fabrication) 프로세스 동안 생산에 대한 높은 수준의 정확성과 정확한 제어를 제공합니다. 이 기계에는 용량, 노출 시간, 에치 속도, 초점 깊이, 기판 온도, 에치 압력 등 다양한 매개변수를 포함하여 노출 및 에칭 프로세스를 제어하는 다양한 옵션이 있습니다. 또한, 통합 프로세스 제어를 통해 프로세스 반복성과 수익률을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 자동화를 위한 다양한 옵션으로 TOKYO ELECTRON 2134N을 구성할 수 있습니다. 여기에는 다양한 자동 기판 처리 솔루션, 자동 교정 장치 (Automated calibration unit), 완전 자동 설정 및 운영 프로세스가 포함됩니다. 전반적으로 FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 2134N은 포토 esist 도구 제작 과정에서 고급 이미징 기술, 통합 프로세스 제어, 자동 기판 처리 솔루션 및 생산에 대한 정밀 제어를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 매우 정확하고 반복 가능한 운영 결과를 얻을 수 있습니다.