판매용 중고 FSI PFA Turntable for Mercury #9206333

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ID: 9206333
웨이퍼 크기: 6"
6" (4) Cassettes (100) Wafers per load.
FSI PFA Turntable for Mercury는 정밀 사진 식각 및 마이크로 구성 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 가공소재 위치 지정 및 회전에 턴테이블을 사용하여 시스템 내에 감광 물질 (photosensitive material) 을 정확하고 반복적으로 배치합니다. 턴테이블은 서브 미크론 (sub-micron) 정확성과 반복 가능성이 있으며, 광범위한 마이크로 패브라이션 애플리케이션에 적합합니다. 이 장치에는 초당 최대 25 프레임의 이미지를 캡처 할 수있는 고해상도 4 메가 픽셀 카메라가 장착되어 있습니다. 카메라는 진공 조임 (vacuum-tight) 인클로저 내에 있으며, 추가 정확성과 정밀도를 위해 통합 자동 홍채 장치 (옵션) 가 있습니다. 카메라는 응용 프로그램 요구 사항에 따라 2D 이미지와 3D 이미지를 캡처하는 데 모두 사용할 수 있습니다. 턴테이블은 FSI Duraposit (TM) 포토 esist 및 표면 마운트 캡을 포함한 다양한 사진 민감성 필름을 지원할 수 있습니다. 이를 통해 포토 에칭 (photoetching), 직접 이미징 (direct imaging), 석판 처리 등 다양한 프로세스와 응용 프로그램을 사용할 수 있습니다. 턴테이블은 또한 최대 6 인치까지 기판을 지원할 수 있으며, 더 큰 샘플 영역을 허용합니다. PFA Turntable for Mercury는 쉽게 작동 할 수 있도록 설계되었습니다. 통합 그래픽 사용자 인터페이스 (Integrated Graphical User Interface) 는 모든 공구 매개변수와 설정을 명확하고 읽기 쉬운 디스플레이를 제공합니다. 또한 시간 최소화, 설정/조정 오류 최소화를 위한 상세한 자동 레시피도 포함되어 있습니다. 자산은 최소한의 개입으로 여러 프로세스와 애플리케이션을 처리하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. FSI PFA Turntable for Mercury는 정밀 사진 식각 및 마이크로 패브라이션 어플리케이션을위한 정확하고 안정적인 모델입니다. 컴팩트한 디자인, 고해상도 카메라, 통합되고 자동화된 레시피 (레시피) 를 갖춘 이 장비는 복잡하고 정확한 구성 요소를 만들 수 있는 완벽한 플랫폼을 제공합니다. 광범위한 사진 민감성 필름과 결합 된 턴테이블의 서브 미크론 (sub-micron) 정확도 및 반복성 (repeatability) 은 광범위한 응용 분야에 이상적입니다.
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