판매용 중고 FSI MERCURY MP #9189482

FSI MERCURY MP는 반도체, MEMS 및 기타 정밀 부품에서 마이크로 스케일 및 나노 스케일 패턴을 만들 수있는 탁월한 HD 리소그래피 기능을 제공하는 포토레지스트 (photoresist) 장비입니다. 머큐리 MP (MERCURY MP) 는 사용자가 높은 해상도와 정확한 결과를 얻을 수 있도록 설계되었으며, 시중에서 가장 높은 처리량과 안정성을 제공하며, 결국 우수한 수익률과 비용 절감 효과를 제공합니다. FSI 머큐리 MP (MERCURY MP) 는 디지털 싱글 레이어 마스크의 이미지를 포토마스크 제작이 필요 없는 웨이퍼로 투영하는 특수 마스크 없는 스캐닝 (maskless scanning) 기술을 포함하는 독특한 광학 이미징 시스템을 사용합니다. 이 마스크 없는 스캐닝 장치 (maskless scanning unit) 는 정확한 정렬 정확도와 재현성으로 인해 최고의 해상도를 유지할 수 있습니다. 또한 MERCURY MP는 고급 현장 도량형 기능을 사용하여 패턴을 정확하게 측정하고 오버레이 정확도를 제어합니다. 이 기계는 또한 가동 중 최적의 열 관리를위한 고급 액체 냉각 도구 (Advanced Liquid Cooling Tools) 를 갖추고 있어 시장에서 최고의 이미지 안정성과 균일성을 보장합니다. FSI 머큐리 MP (MERCURY MP) 는 또한 코팅 및 스트리핑 작업에 독점적 인 로봇 방식을 사용하며, 스핀 코팅에서 이미징 및 스트리핑에 이르는 포토 esist 처리 워크플로를 최소한의 개입으로 자동화합니다. 로봇 솔루션은 자산의 처리량 (throughput) 과 프로세스 일관성을 향상시키고 포토레시스트 (photoresist) 소비를 줄여줍니다. 머큐리 MP (MERCURY MP) 는 산업 생산을 위해 설계되었지만, 정교한 디자인을 통해 연구 개발 목적으로도 사용할 수 있습니다. 고급형 레티클 (Reticle) 을 전환하는 능력은 복잡한 프로세스 요구사항을 수용하는 데 도움이 되며, 추가 도구와 레티클 (Reticle) 을 통합하기 위해 모델을 확장, 재구성할 수 있습니다. 요약하자면, FSI MERCURY MP는 강력하고 효율적인 장비로, 마이크로 스케일 (micro-scale) 및 나노 스케일 (nano-scale) 패턴을 위한 독보적인 리소그래피 기능을 제공합니다. 이 시스템은 탁월한 정확성과 정밀도로 작동하며 최고 수준의 처리량 (throughput) 과 이미지 균일성 (image unifority) 을 제공하며 효율성을 최적화하고 포토레시스트 (photoresist) 소비를 줄이기 위해 설계된 고급 로봇 기능을 제공합니다.