판매용 중고 FSI EXCALIBUR #293815451

FSI EXCALIBUR은 최첨단 기술을 활용하여 안정적이고 효율적이며 비용 효율적인 리소그래피 (lithography) 기능을 제공하는 반도체 제조용 포토리스트 (photoresist) 장비입니다. 고급 화학과 맞춤형 하드웨어 (Custom Designed Hardware) 를 기반으로, 이 시스템은 고성능 해상도, 반복성 및 장치 다운타임을 제공하여 비용 효율적인 장치 생산과 반도체 제조의 모든 단계에서 주기 (cycle) 를 줄입니다. 엑스 칼리버 (EXCALIBUR) 기계의 핵심은 독점적 인 포토 esist 제제로, 다수의 샷에 대한 강한 접착, 고해상도 및 최소 패턴 전송 손실을 제공합니다. 이 제형에는 독점적 인 폴리머, 교차 연결 제제, 광 화학 물질 및 용매가 혼합되어 필요한 성능을 제공합니다. 기판에 분배 된 후, 저항은 FSI EXCALIBUR 노출 프로세스에 들어갑니다. FSI EXCALIBUR 노출 프로세스는 직접 이미징 마스크 정렬기 (direct imaging mask aligner) 와 가장 높은 해상도와 이미지 충실도를 보장하기 위해 개발 된 고유 한 노출 프로그램을 사용합니다. 그런 다음, 홍수 과정을 통해 또는 정적 또는 동적 스프레이 분배 프로세스를 통해 기질이 개발됩니다. EXCALIBUR 플랫폼은 포토리스 (photoresist) 도구 외에도 인사이트 (in-situ) 기기 제어 및 빠르고 정확한 검사를 통해 여러 샷에서 반복 가능하고 신뢰할 수있는 결과를 제공합니다. 따라서 설계가 변경되지 않고, 생산 비용이 낮아집니다. 또한, 독점 개발 및 습식 클리닝 프로세스는 핀홀 (pinhole) 과 포토 esist 잔기를 완전히 제거하여 모든 제조 공정 기간 동안 신뢰할 수있는 결과를 보장하도록 설계되었습니다. FSI EXCALIBUR 플랫폼은 또한 구성 가능한 인터페이스를 제공하여 쉽게 조정 및 조정할 수 있습니다. 즉, 자산의 기능을 필요한 기판/프로세스에 맞게 빠르고 정확하게 조정할 수 있으므로, 생산성 및 비용 효율성을 극대화할 수 있습니다. 요약하면, EXCALIBUR photoresist 모델은 반도체 제조에 대한 일체형 솔루션으로, 생산성 및 비용 효율성이 가장 높은 우수한 결과를 제공합니다. FSI EXCALIBUR 장비는 맞춤형 하드웨어, 독점 사진 연주자 제형, 정교한 현장 기기 제어 및 검사 덕분에 리소그래피 프로세스의 모든 단계를 추진하고 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공 할 수 있습니다.