판매용 중고 FSI EXCALIBUR #293759465

제조사
FSI
모델
EXCALIBUR
ID: 293759465
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
Batch wafer processing system 1994 vintage.
FSI EXCALIBUR은 모놀리식 장치, 초미세 회로 패턴 및 고정밀도 구조 치수의 생성에 사용되는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 photomask, resist 및 laser 처리를 사용하여 원하는 결과를 생성합니다. 광저항 단위는 액체 광 소제를 사용하여 자외선에 노출됩니다. 이로 인해 패턴 화 된 저항 필름이 생성됩니다. 필름은 레이저 머신 (laser machine) 과 스캐닝 단계 (scanning stage) 로 처리되며, 이는 프로세스 내 이미징, 전기 분석 및 표면 지형에 사용됩니다. "레이저 '도구 는 정밀 절제 에 사용 될 수 있을 뿐 아니라" 레지스트' 필름 의 식각 선 을 자를 수 도 있다. 그러면 저항을 제거하여 원하는 패턴을 생성할 수 있습니다. 자산의 포토 마스크 (photomask) 는 원하는 회로 또는 구조 패턴을 배치하는 평평한 판입니다. 그런 다음이 패턴은 액체 광 소시스트에 노출됩니다. 그런 다음, "레이저 '모형 을 이용 하여 원하는" 패턴' 을 "레지스트 필름 '에 투영 한 다음" 패턴' 을 "레지스트 필름 '에 식각 시킨다. 장비는 또한 컴퓨터 제어 시스템 (computer-controlled system) 을 통해 에칭 프로세스를 모니터링하고 제어하는 데 사용됩니다. 이는 결과의 정확성을 보장하고, 개발된 장치의 최고 정확도 수준을 보장합니다. 또한, 이 장치에는 3D 이미징 및 데이터 분석용 소프트웨어가 내장되어 있으며, 자세한 사후 (post-process) 분석 기능을 제공합니다. 전반적으로, EXCALIBUR은 장치 구조를 만드는 단순하면서도 매우 정확한 방법을 제공하는 포토리스 (photoresist) 기계입니다. 그것 은 "포토마스크 ', 저항" 필름' 및 "레이저 '처리 를 사용 하여 매우 정확 한 구조 를 만들어 내며, 그 수준 이 높다. 3D 이미징 및 데이터 분석 기능으로 정확한 결과를 얻을 수 있어, 고정밀 장치와 초미세 회로 패턴을 만드는 데 적합합니다.
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