판매용 중고 FOXBORO 920M #9033117

폭스 보로 (FOXBORO) 920M 장비는 이전에 포토 esist에 노출 된 표면의 표면 품질 및 코팅 구조를 정확하게 제어하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 공정 제어 시스템입니다. 이 장치는 DC 전원 공급 장치, 방사선 소스, 사진 트랜스듀서, 공정 챔버 및 제어 장치를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 920M 머신은 목표 두께, 온도, 에치 레이트 (etch rate) 로부터의 포토리스 소스트 코팅 개발을 제어하기 위해 프로그래밍 될 수있다. FOXBORO 920M의 DC 전원 공급 장치 (DC power supply) 는 일반적으로 기판에 코팅 된 감광 물질의 전송에 사용됩니다. 전원 공급 장치 (Power Supply) 는 제어 수준을 최대화하기 위해 프로세스 주기 내내 정합성 보장 (Consistent Level) 또는 전류 (Current) 를 유지하도록 조절됩니다. 방사선 원천 을 이용 하여 광물질 과 기질 에 대한 원하는 파장 의 광선 혹은 방사선 을 생성 한다. "광선" (beam of light or radiation of the wired wavelength for the photoresist and 기판). 그런 다음, 이 광선 은 "코우팅 '을 감시 하기 위하여 사진" 트랜스듀서' 를 향해 향한다. 920M의 공정 챔버 (process chamber) 는 감광 물질 및 기판을 처리 할 수있는 고도로 통제 된 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 약실 은 전형적 으로 불활성 "가스 '나 진공 상태 로 가득 차서, 기질 에 미치는 산소 와 다른 오염 물질 의 영향 을 감소 시킨다. 또한, 챔버 (chamber) 는 온도 및 습도로 제어되어 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 환경을 유지합니다. 일단 약실 을 적재 하면, "코우팅 '들 이 방사선 원천 에 노출 되고 사진" 트랜스듀서' 들 은 진행 되는 동안 "코우팅 '을 측정 한다. FOXBORO 920M의 제어 장치 (control unit) 는 photoresist 코팅의 매개변수를 조정하는 기능을 사용자에게 제공합니다. 사용자는 프로세스 시간, 노출 시간, 온도, 습도, 전류 및 전압을 조정할 수 있습니다. 또한, 제어 장치 (Control Unit) 는 코팅의 진행 상황을 포토 트랜스듀서에 의해 개발 및 모니터링 될 때 추적할 수 있습니다. 제어 장치 (Control Unit) 는 또한 코팅 공정의 세부 분석 기능을 제공하며, 포토리스 스틱 코팅을 더욱 최적화하는 데 사용될 수있다. 전체적으로 920M은 뛰어난 포토리스 코팅 프로세스 제어 도구를 제공합니다. 그것 은 "코우팅 '공정 을 처음 부터 끝 까지 정밀 하고 자동화 된 제어 를 하도록 설계 되었다. FOXBORO 920M은 표적 두께, 온도 및 에치 레이트 (etch rate) 에 대한 포토 esist 코팅 개발을 제어하는 데 사용될 수 있습니다. 이 자산은 또한 코팅 프로세스를 자세히 모니터링 및 최적화 할 수 있습니다.