판매용 중고 FLUOROCARBON RD-4500 #164470
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FLUOROCARBON RD-4500은 플루오로 카본 연구소 (FLUOROCARBON Laboratories) 가 집적 회로 및 기타 마이크로 전자 장치의 생산을 위해 개발 한 포토 esist 장비입니다. 마스크 사진 노출기 (photo-exposer) 와 이미지 투영 시스템을 결합하여 패턴화되고 매우 정확한 반도체 웨이퍼를 만드는 단일 기계입니다. RD-4500은 정교한 알고리즘과 컴퓨팅 플랫폼을 사용하여 석판화 (lithography) 프로세스를 분석하여 설계와 프로세스를 검증하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 또한 정교한 온도, 압력 및 습도 제어를 제공하여 일관된 제조 환경을 보장합니다. FLUOROCARBON RD-4500은 photomasking 응용 프로그램에 최적화되어 있으며, 추가 마스킹 재료없이 10 나노미터까지 작은 패턴을 만들 수 있습니다. 고정밀도 포토 마스크 및 이미징 시스템은 결과 패턴이 매우 정확하고 일관성을 보장합니다. 이 장치를 사용하여 논리, 메모리, 소규모 상호 연결 (small-scale interconnect) 등 다양한 디바이스 구조를 만들 수 있습니다. RD-4500은 또한 다양한 사진 방지 (photo-resist) 재료를 제공하여 사용자가 프로세스에 가장 적합한 재료를 선택할 수 있습니다. 이 재료 들 은 몇 "미크론 '정도 의 작은 특징 들 을 포함 하여 여러 가지 깊이 와 특징 들 을 위해 특별 히 배합 된다. 이 시스템에는 자동 샘플 로드 및 언로드 (unloading) 가 포함되어 있어 기존 구성 프로세스에 쉽게 통합할 수 있습니다. 마지막으로, FLUOROCARBON RD-4500은 일관된 결과를 보장하는 다양한 프로세스 모니터링 도구를 갖추고 있습니다. 이러한 도구에는 광학 현미경, 주사 전자 현미경 및 와전류 프로브가 포함됩니다. 이 도구는 다양한 노출 시간 카메라 (Exposure-Time Camera) 와 기타 이미징 (Imaging) 기술을 탑재하여 사용자가 웨이퍼 생산의 정확성을 평가할 수 있습니다. 요약하면, RD-4500은 다양한 노출 재료 및 프로세스 모니터링 도구로 정확하고 반복 가능한 패턴을 제공하는 고도의 포토리스 (photoresist) 에셋입니다. 정교한 알고리즘, 종합 이미징 기술, 자동 샘플 로딩 및 언로딩으로 인해 FLUOROCARBON RD-4500은 집적 회로 및 기타 마이크로 일렉트로닉 장치 생산에 완벽한 선택이되었습니다.
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