판매용 중고 EVG / EV GROUP 301 #9358755

EVG/EV GROUP 301은 다양한 응용 프로그램에 사용되는 포토 esist 처리 장비입니다. 포토 마스크 및 웨이퍼에 대한 마스크 정렬 및 인쇄, 기판 증착, 건조 및 습식 에치 프로세스, 프로세스 개발, 기타 많은 패턴 복제 프로세스 (pattern replication process) 를 수행 할 수 있습니다. 이 시스템은 연구 개발 프로젝트에 이상적입니다. EVG 301에는 기판과 마스크 유휴 시간을 줄이기 위해 빠른 로딩 메커니즘으로 제작 된 포토 마스크 (photomask) 의 정확한 정렬 및 인쇄를 용이하게하는 고급 패턴화 장치 (advanced patterning unit) 가 장착되어 있습니다. 기계의 웨이퍼 정렬 프로세스는 개별적으로 제어 된 압전 (PEV) 요소를 통해 자동화되며, 패턴 시간을 더욱 줄이고 정확도를 향상시킵니다. 이 툴은 모듈식 플랫폼 (modular platform) 으로 설계되었으며, 다양한 애플리케이션의 요구에 맞게 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 기판 보유 테이블은 한 번에 최대 30 개의 기판을 수용 할 수 있으며, 자산은 최대 200 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 기판 액세스 및 제거가 용이한 인체 공학 리프트 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 고급 마스크 제작 프로세스도 제공합니다. 200 나노 미터 스캔 필드 광 장치 (scan field optical unit) 와 기판과 마스크 사이의 접점 (contact-point) 의 힘을 조정하기위한 노출 제어 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 또한 마스크-광택 (mask-polish) 및 미세 마감 (fine-finish) 기능을 코팅할 수 있으며 코팅 시간을 줄이고 결함을 최소화합니다. 요약하자면, EV GROUP 301은 기판 및 마스크 처리 시간을 단축시키는 기능이있는 다재다능하고 신뢰할 수있는 photoresist 처리 도구입니다. 첨단 패턴 및 이미징 기술의 연구 및 개발에 이상적입니다.