판매용 중고 EVG / EV GROUP 250AV #9400866

EVG/EV GROUP 250AV는 박막 전자 제품, 의료 기술, 광학 부품 등 다양한 애플리케이션의 마이크로 및 나노 스케일 구조를 만드는 데 사용되는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 하나의 장치에 저항 코팅, 노출, 개발 및 후처리를 통합하여 여러 도구와 프로세스가 필요 없이 균일하고 반복 가능한 패턴을 제공합니다. EVG 250AV에는 최대 1KV의 충전 용량을 제공하는 독특한 저항 코팅 증착 헤드가 포함되어 있습니다. 이 머리는 기질에 photoresist 물질, 일반적으로 photohardening 및 chemically-amplified photoresist의 조합으로 균등하게 코팅합니다. 광물질 (photoresist) 의 용량을 기판으로 조절함으로써, 사용자는 장치 제작에 적합한 매우 균일하고 고해상도 (high-resolution) 패턴을 달성 할 수 있습니다. 또한 고급 설계 알고리즘과 자동 정렬 기능을 갖춘 광 인터페이스 (Optical Interface) 를 사용합니다. 이 고급 인터페이스 (Advanced interface) 를 사용하면 사용자가 배치 정확도와 균일성을 높여 기판에 패턴 전송을 잘 정의할 수 있습니다. 또한 광학 인터페이스 (Optical Interface) 는 광범위한 노출 파장을 지원하므로 장치 제작에 고급 재료를 사용할 수 있습니다. EV GROUP 250AV에는 코팅 된 기판에 자동으로 개발자를 디스하는 고정밀 개발 도구가 포함되어 있습니다. 이 자산은 균일하고 일관된 개발을 보장하며, 뛰어난 해상도와 균일성으로 패턴 전송을 허용합니다. 또한, 레시피 또는 하드웨어에 대한 변경 없이 다양한 유형의 기판을 개발 할 수 있습니다. 마지막으로 250AV (Post-Processing Step) 를 통해 과도한 포토리스트 (Photoresist) 를 제거하고 패턴 전송 품질을 향상시킬 수 있습니다. 이 포스트 프로세싱은 직류 (DC) 애싱 및 플라즈마 보조 애싱 (ashing) 을 사용하며, 기판 표면에서 원치 않는 잔기를 선택적으로 지웁니다. 또한, 사용자는 포스트 에치 (post-etch) 및 기타 처리를 통합하여 패턴 전송 프로세스를 완료 할 수 있습니다. 결론적으로, EVG/EV GROUP 250AV 포토 esist 모델은 사용자에게 마이크로 및 나노 스케일 구조를 패턴화하는 자동화되고 균일 한 솔루션을 제공합니다. 이 장비는 고해상도, 균일성, 정확성으로 효율적인 패턴 전송을 가능하게 하며, 따라서 복잡한 장치를 제작할 수 있습니다.