판매용 중고 EVG / EV GROUP 250AV #9200716

EVG/EV GROUP 250AV는 고급 사진 리토그래픽 기술자를 위해 설계된 고급 포토리스 장비입니다. 이 "시스템 '은 높은 정확도 로 복잡 한 구조 를 만들 수 있어서, 광석판 기술 에 이상적 인 도구 가 된다. 이 장치는 X, Y 및 Z 축에서 정확하게 움직일 수있는 특수 진공 척 (vacuum chuck) 및 PC 제어 전동 단계를 사용합니다. 이렇게 하면 웨이퍼 또는 기판을 정확하게 배치하여 처리할 수 있습니다. 이렇게 하면 시스템이 최소한의 오류로 복잡하고 상세한 패턴을 만들 수 있습니다. 이 도구는 또한 레이저 수직 참조를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 의 위치를 감지하고 대상 패턴에 대해 올바르게 배치하는 자동화된 웨이퍼 정렬 (automated wafer alignment) 에셋을 제공합니다. 이는 정밀한 정렬에 필수적이며, 잘못된 정렬로 인해 패턴의 원치 않는 왜곡 가능성을 제거합니다. 노출 과정은 고강도 수은 램프에 의해 처리됩니다. 램프는 포토리스 트 (photoresist) 노출 및 드라이 레지스트 에칭에 모두 사용될 수있는 가까운 자외선 파의 스펙트럼을 제공합니다. 노출 프로세스의 각 매개 변수 (예: 강도, 지속 시간, 파장) 는 신중하게 제어되며, 나중에 사용할 수 있도록 여러 노출 레시피에 대한 내장 메모리 기능을 저장할 수 있습니다. EVG 250AV는 또한 노출 과정을 더욱 제어하기위한 전기 바이어스 모델을 갖추고 있습니다. 이 "바이어스 '장비 는 노출 되는 물질 에 일정한 전압 을 적용 하여, 여러 가지 물리적 특성 을 정확 하게 조정 할 수 있게 한다. 단열층 (insulation layer), 화학 기계 연마 (chemical mechanical polishing) 와 같은 후처리 절차에도 사용될 수 있습니다. 마지막으로, 시스템에는 환경 온도를 정확하게 제어 할 수있는 고급 열 제어 장치 (Advanced Thermal Control Unit) 가 장착되어 있습니다. 이것 은 전체 기판 에 정확 하고 균일 한 노출 을 보장 해 주며, 그 결과 는 일관성 있게 유지 되며, 섬세 한 물질 의 "스코치 '나 손상 을 피한다. EV GROUP 250AV 포토레지스트 머신 (photoresist machine) 은 탁월한 정확도와 품질로 마이크로 패턴을 만들도록 설계된 고급 고성능 장비입니다. 이 도구는 고급 전동 단계 (Motorized Stage), 자동 웨이퍼 정렬 (Automated Wafer Alignment), 고급 열 제어 (Advanced Thermal Control) 의 조합으로 뛰어난 정확성과 정확도로 엄청나게 복잡한 구조를 만들 수 있습니다.