판매용 중고 EVG / EV GROUP 150 #9398332

EVG/EV GROUP 150 포토 esist 장비는 정밀도 및 속도로 고성능 마이크로 일렉트로닉 부품을 에칭하도록 설계된 산업용 마이크로 일렉트로닉스 리소그래피 시스템입니다. 이 장치는 복잡한 모양을 기판으로 전송하는 데 사용되는 기술 인 리소그래피 (lithography) 를 기반으로합니다. EVG 150은 스테퍼/스캐너 장치, 자동 초점 도구 및 스캐너 컨트롤러를 포함하는 자동 기계입니다. 스테퍼/스캐너 장치 (stepper/scanner unit) 는 에셋의 주요 컴포넌트이며 기판 배치를위한 고정 유리 테이블이있는 스테이지가 포함되어 있습니다. 그것은 5 나노 미터 (nm) 미만의 매우 낮은 왜곡으로 고정밀 현미경 목표를 가지고 있습니다. 이렇게 하면, 원하는 "마이크로일렉트로닉 '회로 의 정확 한 배치 의 정밀 영상 과 조각 을 할 수 있다. 자동 초점 (autofocus) 모델은 냉각된 디지털 카메라를 사용하여 이미지를 기판에 정확하게 초점을 맞추기 때문에 포토리스 (photoresist) 장비의 또 다른 핵심 구성 요소입니다. 이 시스템은 기판의 결함을 감지하고 포토레스 (photoresist) 의 실시간 이미징 (image-time imaging) 을 수행하여 장비의 성능을 최적화할 수도 있습니다. 이것은 사용중인 빛의 강도를 계산하고 그에 따라 자동 초점 조정 (autofocus) 을 통해 수행됩니다. 또한, EV GROUP 150은 레이저 유도 시각화 장치를 사용하여 기판에 에칭 된 패턴의 정확성을 보장합니다. 150은 99.5% 이상의 가동 시간으로 매우 신뢰할 수 있도록 제작되었습니다. 이것 은 고도 로 자동화 된 기능 때문 에 "머신 '이 조작 자 의 개입 을 최소화 하여 달릴 수 있다. 또한 고급 프로세스 최적화 기술 (Advanced Process Optimization Technologies) 을 활용하여 장치가 지정된 모든 애플리케이션에 대해 가장 적합한 매개변수를 신속하게 파악하고 설정할 수 있습니다. 또한, 이 툴은 모듈식 (modular) 방식으로 설계되어 개별 요구 사항에 가장 적합한 옵션과 추가 기능을 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 EVG/EV GROUP 150 포토레시스트 자산은 매우 정밀하고 고성능 마이크로 일렉트로닉스 구성 요소를 생산하기위한 인상적이고 자동화된 솔루션입니다. 업계 최고의 정확성과 정확성을 제공하며, 손쉽게 매우 복잡한 디자인을 만들 수 있습니다. 모듈식 디자인, 강력한 기능 세트, 업계 최고의 신뢰성을 자랑하는 EVG 150 은 마이크로일렉트로닉스 (Microelectronics) 업계에서 탁월한 선택입니다.