판매용 중고 EVG / EV GROUP 150 #9396120

EVG / EV GROUP 150
ID: 9396120
Coater system.
EVG/EV GROUP 150 (EVG/EV GROUP 150) 은 광범위한 프로세스 단계에서 효과적이고 고성능 결과를 제공하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 광전자는 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 와 반도체 (semiconductor) 응용 분야에 널리 사용되며, 이 시스템은 포토 리토 그래피 프로세스에 영향을 미치기위한 최신적이고 가장 신뢰할 수있는 도구를 제공합니다. EVG 150 은 다양한 애플리케이션에서 신속하게 재구성할 수 있는 통합 모듈식 플랫폼을 갖추고 있습니다. 이 장치는 아이라인 소스, 에너지 빔, 조명 모듈, 스왑 스캐너, 반사 사진 마스크 등 다양한 리소그래피 하드웨어 및 액세서리를 제공합니다. 이러한 구성 요소는 조화롭게 작동하여 자동화된, 고성능 프로세스 솔루션을 제공합니다. 이 기계는 또한 고정밀 구성 요소와 다양한 고성능 옵션 (예: 자동 초점, 브러시리스 (brushless) 진공 단계, 고급 이미지 수정 기술) 을 갖추고 있습니다. 이 툴의 통합 플랫폼은 GUI (Graphical User Interface) 와 텍스트 마법사 (Text Wizard) 를 포함하여 사용하기 쉽고 강력한 사용자 인터페이스로 보완되며, 프로세스 단계와 구성 간에 빠르고 쉽게 전환할 수 있습니다. 또한 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 사용하면 광범위한 제품별 라이브러리를 액세스하여 자산에 통합할 수 있으므로 개발/테스트된 프로세스와 구성을 손쉽게 채택할 수 있습니다. 이 모델은 또한 다양한 프로세스별 기능 (process-specific function) 및 모니터링 유틸리티 (monitoring utilities) 를 통해 운영자가 워크플로를 관리하고 최고 수준의 결과를 얻을 수 있도록 도와줍니다. 여기에는 자동 온도 조절 장비를 통해 치료, 건조, 제빵, 스트리핑 등의 생산 프로세스를 모니터링하고 제어하는 기능이 포함됩니다. 또한, 제어 및 프로세스 연속성을 향상시키기 위해, 이 시스템은 또한 계층별 프로세스 최적화를 위해 다양한 레시피를 지원합니다. EV GROUP 150은 강력한 플랫폼 외에도 자동 사진 작업, 이미지 처리, 이미지 복원, 수율 모니터링 등 다양한 운영 관련 모니터링, 비전, 품질 관리 기능을 통합했습니다. 이러한 기능은 사용자가 품질 (Quality) 이나 성능 (Performance) 을 저해하지 않고도 업무 중단 없이 효율적으로 생산할 수 있도록 해줍니다. 150은 다양한 photoresist 관련 프로세스 단계에서 우수한 결과를 제공하는 종합적인 솔루션을 제공합니다. 혁신적이고 신뢰할 수 있는 구성 요소, 통합 플랫폼, 강력한 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖춘 이 장치는 사용자가 가장 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있도록 빠르고 효과적인 결과를 얻을 수 있도록 지원합니다.
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