판매용 중고 EVG / EV GROUP 150 #9269960

EVG/EV GROUP 150은 EVG (EV GROUP) 의 고정밀 포토 esist 처리 장비입니다. 포토레스 처리 시스템은 레이저 현미경이나 에칭 도구 (etching tools) 와 같은 광학 첨부를 사용하여 기판 표면을 에치하거나 패턴화합니다. EVG 150은 고유한 고급 기능과 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 장치는 각각 고유한 기능과 기능을 갖춘 3 개의 핵심 구성 요소로 구성되어 있습니다. 고정밀 웨이퍼 스테이지, 스캔 광학 장치 및 UV-LED 광원이 포함됩니다. 웨이퍼 스테이지는 수동 및 자동 작업을 모두 수행할 수 있습니다. 포토 esist 처리를 위해 기판을 획득하고 포지셔닝 할 때 높은 수준의 반복 성을 보여주기 위해 설계되었습니다. 스캐닝 optics 장치는 높은 화질을 보장하는 고급 optics 구성 요소로 설계되었습니다. 10 ~ 250X 범위의 확대율로 여러 투영 목표를 달성 할 수 있습니다. 광학 장치에는 처리 중에 정확하게 초점을 맞추기 위해 독특한 고감도 (high-sensitivity) 깊이 제어 머신이 장착되어 있습니다. UV-LED (UV-LED) 광원은 높은 수준의 전력을 갖춘 안정적인 광원 공급을 제공하도록 설계되었습니다. 고정밀 에칭 또는 패턴을 달성하기 위해 최대 12m 지속 시간 (puls) 을 생성 할 수 있습니다. 광원에는 셔터, 속도, 전압 및 전류 조정과 같은 정확한 제어 메커니즘이 포함됩니다. 이러한 기능의 조합으로 EV GROUP 150은 포토 esist 처리 동안 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 도구는 기판의 고정밀 정렬, 고해상도 이미징, 패턴의 정확한 에칭을 제공 할 수 있습니다. 또한, 이 에셋에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 포함되어 있어 매개변수를 쉽게 제어하고 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 150은 포토 esist 처리 응용 분야에 이상적인 모델입니다. 직관적인 사용자 환경을 제공하면서 높은 정확성과 안정성을 제공합니다. 특유의 특징과 기능의 조합은 민감한 기판 (substrate) 을 처리하거나 복잡한 모양을 패턴화하는 데 매우 적합합니다.