판매용 중고 EVG / EV GROUP 150 #9195110
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EVG/EV GROUP 150은 감광 물질 층을 다양한 물체의 표면에 배치하는 데 사용되는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 나노 패턴, 3 차원 필름 및 기능성 코팅의 대규모 생산에 사용되는 고급 재료 가공 도구입니다. 이 장치는 두 가지 주요 구성 요소 (스캐너와 기판 단계) 로 구성됩니다. 스캐너는 5 축 포지셔닝 및 0.8 zm 해상도를 갖춘 스캐닝 투영 마이크로 사진 촬영 기계입니다. 기판 위치에 민감하고 정확하게 나노 스케일 피쳐를 형성하는 데 사용됩니다. 기판 단계는 표본을 마운트하고 정렬하는 데 사용됩니다. XZY 평면에서 6 도의 자유 (DOF) 동작을 제공하며, 등록 표시를 제공하며, 표본을 회전하고 회전시킬 수도 있습니다. 일반적으로, 이 공구는 photoresist 레이어를 기판 재료에 배치하는 데 사용됩니다. 이것은 기질을 자외선 (UV) 빛에 노출시킴으로써 수행됩니다. 그 다음 광전자가 개발되어, 노출 된 영역을 선택적으로 제거하여, 원하는 패턴을 형성 할 수있다. 노출 및 개발 과정은 원하는 패턴과 필름 (film) 을 달성하기 위해 여러 번 반복됩니다. 자산에는 온도, 노출 기간 (exposure duration) 등과 같은 노출 및 개발 매개변수를 프로그래밍하는 데 사용할 수있는 소프트웨어도 있습니다. 이렇게 하면 복잡한 프로세스를 실행할 때 정밀도가 높아집니다. 또한, 이 모델은 다른 장비/소프트웨어와 다양한 인터페이스/통합 기능을 제공하여 보다 효율적인 설치/워크플로우를 제공합니다. 마지막으로, 장비는 내장된 경보 (alarm) 및 긴급 종료 (safety level) 와 같은 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 따라서 모든 사용자에게 안전하고 오류가 없는 작업이 가능합니다. 전반적으로, EVG 150 photoresist 시스템은 사용자가 정밀도와 정확도가 높은 기판에 photoresist 레이어를 배치 할 수있는 고급 재료 처리 도구입니다. 이 장치는 다양한 기능과 기능을 제공하므로 복잡한 프로세스를 안전하고 효율적으로 실행할 수 있습니다 (영문).
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