판매용 중고 EVG / EV GROUP 150 #293823320
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ID: 293823320
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2013
Coater / Developer system, 8"
Resist processing system
Automated resist processing station
(3) Spin modules: Bake, chill and vapor prime
Send / Receive cassette station with ergo load mounts
Cassette to cassette handling
2013 vintage.
EVG/EV GROUP 150 Photoresist 장비는 고급 반도체 공정에 대한 웨이퍼 제작을 돕기 위해 설계된 강력한 도구입니다. 이 시스템은 처리량, 고해상도 웨이퍼 스테핑 (wafer steping), 스캐닝 (scanning) 및 패턴 (patterning) 기능을 갖추고 있어 신속한 프로토타입, 대용량 생산, 생산량 향상 및 장애 격리 요구 사항에 적합합니다. EVG 150은 고정밀 스핀 코터 (spin-coater) 및 프로그래밍 가능한 웨이퍼 포지셔닝 단계를 활용하여 패턴 작업 반복 및 일관성을 보장하는 완전 자동화 장치 (fully automated unit) 입니다. 이 기계 는 직경 이 300 "밀리미터 '에 이르는 매우 다양 한" 웨이퍼' 크기 를 지지 하도록 설계 되었다. Photoresist 증착은 매우 정확하며 최적의 결과를 보장하기 위해 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 특수 프로세스 (예: ODM, 잉크젯 인쇄, 마이크로 접촉 인쇄) 에 다양한 응용 프로그램 헤드를 사용할 수 있습니다. EV 그룹 150 (EV GROUP 150) 과 함께 제공되는 소프트웨어 패키지는 매우 진보되었으며, 정확한 반복성과 빠른 응답성을 보장하기 위해 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 고급 모서리 감지 (Advanced Edge Detection) 및 패턴 정렬 도구 (Pattern Alignment Tools) 를 통해 패턴을 정확하게 정렬하고 정렬할 수 있습니다. 150은 오프라인과 인라인 포토레지스트 (photoresist) 어플리케이션을 모두 위한 안정적이고 효과적인 도구입니다. 생산 라인 (production line) 에 쉽게 통합될 수 있으며, 설치 공간이 매우 작아 다양한 실험실 및 생산 환경에서 사용할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 사용 및 유지 보수가 비교적 쉽고, 다양한 표준 구성 요소와 액세서리를 사용할 수 있습니다. 전반적으로, EVG/EV GROUP 150은 실험실과 생산 라인에 많은 이점을 제공하는 고도로 유능한 포토 esist 자산입니다. 고도의 정확도 웨이퍼 (Wafer) 포지셔닝 단계, 고급 모서리 감지 (Advanced Edge Detection) 및 패턴 정렬 도구, 손쉬운 사용자 인터페이스 등을 갖춘 이 모델은 다양한 사진 해설과 기타 패턴 요구 사항을 충족하는 데 사용할 수 있습니다. 이 장비의 강력한 기능은 반도체 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 제작하거나 개선해야 하는 모든 사람에게 적합한 선택입니다.
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