판매용 중고 EVG / EV GROUP 150 #293809532

EVG/EV GROUP 150은 반도체 산업에서 사진 해설을 생산하기 위해 설계된 고급형 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 첨단 냉각 시스템을 갖추고 있으며, 최대 EVG 150 mm 크기의 고해상도 포토 마스크 (photomask) 를 생산할 수 있습니다. 이 장치에는 LCD (액정 디스플레이) 터치스크린 인터페이스가 포함되며, HD 선명도로 이미지를 시각화할 수 있습니다. 이 기계는 최적의 사용자 제어 및 고급 이미지 해상도를 제공하는 LCD (State-of-the-Art) 액정 디스플레이 (LCD) 터치 스크린 인터페이스로 구동됩니다. 또한, 고해상도 HD 이미지는 마스크 생산에서 높은 수준의 정확성을 보장합니다. 이 도구는 픽셀당 1.2 미크론의 해상도를 달성 할 수 있습니다. 이 해상도는 0.5 미크론 (미크론) 이하의 장치 기능에 충분합니다. 에셋에는 진공 펌프 (vacuum pump) 와 기판을 정렬하고 배치하는 스테이지가 장착되어 있습니다. 스테이지에는 웨이퍼 척과 웨이퍼 회전을위한 드라이브 모델도 포함됩니다. 또한, 장비에는 기판 난방 공정을 돕고 기판 전체에 온도 균일성을 제공하기 위해 이동식 핫 플레이트 (removable hot plate) 가 포함되어 있습니다. 광마스크 (photomask) 는 기판을 가로 질러 퍼지는 빛에 민감한 유화액을 사용하여 노출됩니다. 이 시스템은 또한 최적의 노출 시간 및 균일 한 광출력을 위한 고급 셔터링 장치 (shuttering unit) 및 조명기 도구 (illuminator tool) 를 갖추고 있습니다. 그런 다음, 특수 평가 기계를 사용하여 photomask를 평가하여 결함 또는 불일치를 확인합니다. EV 그룹 150 (EV GROUP 150) 도구는 석판화 프로세스의 성능을 평가하고 일관되게 높은 생산 수준을 보장하기 위해 개발 된 탁월한 생산 후 분석 자산을 갖추고 있습니다. 이 모델은 리소그래피 뿐만 아니라 다른 생산 프로세스를 분석 할 수 있습니다. 자동 보고서 기능을 사용하면 운영 결과를 신속하게 평가할 수 있습니다. 150은 사용자에게 고급 photoresist 시스템에서 요구하는 편의성, 유연성 및 신뢰성을 제공합니다. 고해상도 (High Resolution) 와 강력한 기능을 갖춘 사용자는 일관된 고해상도 마스크, 효율적인 운영 분석, 안정적인 운영을 보장할 수 있습니다.