판매용 중고 EVG / EV GROUP 150 #293617649

EVG/EV GROUP 150은 photolithography 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 포토리스 (photoresist) 시스템은 반도체, 통신, 의료 기기 제조 등 다양한 산업에서 사용하도록 설계되었습니다. 이 장치는 프로세서 모듈 (Processor Module) 과 기판 처리 모듈 (Substrate Processing Module) 의 두 모듈로 구성되어 있습니다. 프로세서 모듈 (Processor Module) 은 포토레지스트 재료에 필요한 프로세스 단계를 제공하도록 설계되었습니다. 공구 정렬에 사용할 수 있고, 공정의 결과나 이미지를 기록할 수 있는 구성 가능한 통합 카메라 (Configurable Integrated Camera) 가 포함되어 있습니다. 기판 처리 모듈 (Substrate Processing Module) 은 개별 기판을 보유, 전송 및 처리하여 균일하고 반복 가능한 프로세스 단계를 허용하도록 설계되었습니다. 시스템의 프로세서 모듈 (Processor Module) 은 사전 노출 및 노출 후 저항, 개발자, 청소, 소프트 베이크 프로세스와 같은 여러 프로세스 단계를 제어할 수 있습니다. 이 모듈은 또한 자동 초점, 자동 정렬 및 자동 노출 기능을 갖춘 통합 비전 도구를 제공합니다. 이 자산은 또한 저항 프로파일 (in-situ) 을 평가하고 저항 프로파일 및 이미징 매개변수의 최적화를 허용합니다. 기판 처리 모듈 (Substrate Processing Module) 은 여러 기판과 프로세스를 병렬 처리하도록 설계되었습니다. 응용 프로그램에 따라 인라인 또는 배치 프로세스 역할을 할 수 있습니다. 웨이퍼 (wafer), 패널 (panel), 기타 넓은 영역 구조 및 프로세스의 다양한 부분을 개별적으로 조정 또는 모니터링 할 수있는 다양한 기판을 제공합니다. 또한 저항 프로파일을 테스트하고 기계적 결함을 감지하기위한 유연성 센서 (flexibility sensor) 가 있습니다. 이 모델은 또한 UV 보호 안전 실드 (Safety Shield for UV Protection) 와 같은 광범위한 안전 대책과 여러 센서와 경보를 갖춘 프로그래밍 가능한 안전 루틴을 제공합니다. 또한, 사용자 정의 특성 루틴을 통합 할 수있는 개방형 플랫폼이있는 진단 루틴 (diagnostic routine) 및 IV 커브 추적 (IV curve trace) 장비가 포함되어 있습니다. 결론적으로, EVG 150 Photoresist System은 다양한 산업 사진 촬영 응용 프로그램에 사용하기 적합한 기능을 제공합니다. 다양한 프로세스 제어 기능과 안전 측정 (Safety Measure) 기능을 갖춘 구성 가능하고 사용자 친화적 인 포토레시스트 장치입니다. 이 기계는 반도체, 통신, 의료 기기 제조 등 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다.