판매용 중고 EVG / EV GROUP 120 #9229820

EVG/EV GROUP 120은 집적 회로 및 기타 고밀도 응용 프로그램 제작을 위해 마이크로 및 나노 스케일 (nano-scale) 기능을 만드는 데 사용되는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 초고정밀도 옵틱 테이블, 고정밀도 (Motorized Stage), 특허를 받은 고해상도 이미징 기술이 탑재되어 있습니다. 이 시스템은 석판 공정을 사용하여 나노 구조를 만듭니다. 광저항제 (photoresist) 는 얇은 층에서 기질에 적용되는 빛에 민감한 물질이다. 광저항 층 (photoresist layer) 은 빛에 노출되어 화학 반응을 일으키며, 층의 부분을 선택적으로 식각 (etching) 하여 패턴을 만들 수 있습니다. 원하는 패턴이 형성될 때까지 프로세스가 반복됩니다. EVG 120은 패턴 정렬을위한 미크론 정밀 직교 동력 단계를 특징으로합니다. 이 단위는 광학 테이블 (optics table) 에 대한 기판의 정확하고 반복 가능한 정렬을 가능하게하며, 이는 정확한 패턴 정렬에 필수적입니다. 또한 100 나노 미터까지 기능을 생산하는 특허 이미징 머신 (Noise Level) 은 Zone 당 -0.1nm RMS입니다. 따라서 결함 비율이 매우 낮은 정확하고 상세한 이미지를 생성할 수 있습니다 (영문). 이 도구는 양성음, 음성음, 이진 저항을 포함한 다양한 photoresist와 호환됩니다. 마이크로 일렉트로닉스, MEMS (microelectromchanical system), 광전자 및 센서를 포함한 다양한 응용 분야에 적합합니다. EV GROUP 120은 매우 정확하고 신뢰할 수있는 자산으로, 다양한 나노 구조를 생산하는 데 적합합니다. 고급 옵틱 테이블, 고정밀도 (high-accuracy) 동력 단계 및 초고정밀 이미징 모델을 통해 결함 속도가 매우 낮은 복잡한 기능을 만들 수 있습니다. 이 장비는 집적 회로 (integrated circuit) 또는 기타 소규모 구조를 생산하는 모든 조직에 유용한 도구입니다.