판매용 중고 EVG / EV GROUP 120 #293595254

EVG/EV GROUP 120 포토 esist 장비는 고급 나노 제조 응용 프로그램에 고급 정밀 전력을 제공하는 모듈식 턴키 리소그래피 도구입니다. 이 도구는 최대 12 개의 독립 기판과 최대 2 개의 병렬 광학 요소를 갖춘 현장 교체 가능한 고 진공 증발기 장치를 갖추고 있습니다. 모듈화는 고정밀 프로세싱과 강력한 패턴화 기능을 제공합니다. EVG 120 시스템은 고급 광학 및 물리 구성 요소를 사용하여 양성 (positive) 및 음의 포토레지스트 개발자, 고해상도 포토마스킹 등 다양한 리소그래피 옵션을 제공합니다. 그것 은 "마스크 '의 재료 와 기판 을 사용 할 수 있는데, 그 가운데 는 서브미크론 의 광학" 마스크' 와 "실리콘 ', 유리, 사파이어, 석영, 금속, 유기물 등 의 여러 가지 기판 들 이 있다. 이 장치는 전체 병렬 처리를 사용하여 빠른 기판 회전 및 고급 그림자를 활성화합니다. 이 시스템은 또한 높은 처리량을 최적화하여 사용자 정의 프로세스 매개변수, 자동 포지셔닝, 고급 자동화 등을 지원합니다. 이 도구에는 또한 고급 사용자 정의 보정이 포함되어 있으므로 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 자산은 또한 고급 제어 기능 및 모니터링 시스템 (예: 데이터 로깅) 을 제공하며, 이를 통해 프로세스 제어 및 품질 보증을 개선할 수 있습니다. EV GROUP 120의 고급, 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 설정, 프로세스 매개 변수 제어 및 실시간 모니터링에 신속하게 액세스할 수 있습니다. 또한 레시피 데이터 세트 (recipe data set) 와 레시피 (recipe) 를 메모리에 저장하고 리콜할 수 있습니다. 장비의 설계를 통해 다른 프로세스 모듈 (process module) 을 통합하여 시스템에 다양한 기능을 제공합니다. 광범위한 리소그래피 기능을 갖춘 120 가지의 포토레시스트 (photoresist) 장치는 연구 개발, 생산, 프로토타입 작업에 이상적인 솔루션입니다. 이 머신은 정밀 프로세스 제어 (precision process control) 및 높은 처리량을 최적화하여 고급 나노 구성 어플리케이션에 적합합니다.