판매용 중고 EVATEC Solaris S380 #9390765

EVATEC Solaris S380은 photoresist 재료의 정교한 제어 및 정밀 증착을 위해 설계된 고급 photoresist 코팅 장비입니다. S380은 낮은 TCO 및 뛰어난 제어 기능과 고가용성을 결합합니다. S380 시스템은 모듈식 (Modular) 설계를 기반으로 하며, 주변 장치 모듈 (옵션) 이 있는 기본 (Base) 장치로 구성되며, 사용자가 정확한 요구 사항을 충족하도록 장치를 구성할 수 있습니다. S380 기계는 최대 5 층의 포토 esist 물질을 배치 할 수 있으며, 각 층에는 독립적 인 제어 및 프로세스 조건이 있습니다. 이 도구는 스핀 코팅, 스프레이 코팅, 공압 전단 코팅 등 증착 기술을 선택할 수 있습니다. S380은 반복성을 위해 설계되었으며, 다양한 기판 및 다중 레이어 스택 (multiple layer stack) 에 대한 포토 esist 특성의 반복 가능성을 보장 할 수 있습니다. S380에는 인체 공학적 터치 스크린 사용자 인터페이스, low maintanace electronics, advanced process automation, automatic substrate size detection 등 여러 가지 표준 기능이 제공됩니다. 혁신적인 "지능형" 제어 자산은 프로세스 조건이나 기판의 변화에 관계없이 일관된 성능을 보장합니다. 장애 진단 및 예후는 최대 가동 시간과 낮은 소유 비용을 보장합니다. 또한 S380은 다른 프로덕션 시스템으로의 통합을 허용하거나, 완전한 클로즈드 루프 (closed-loop) 프로세스 제어를 허용하는 다양한 옵션을 제공합니다. 원격 통신 시스템, 부품 추적 (Part Tracking), 머신 비전 (Machine Vision), 레이저 간섭계 (Laser Interferometer) 및 스프레이 패턴 분석 (Spray Pattern Analysis) 옵션을 사용하여 운영 및 프로세스 기능에 대한 월등한 모니터링을 수행할 수 있습니다. 요약하자면, Solaris S380은 정밀한 증착 응용프로그램을 위한 탁월한 측정 및 제어 기능을 제공하는, 강력하고 신뢰할 수 있는 포토리스 (photoresist) 코팅 모델입니다. 이 장비는 프로세스 자동화, 성능 최적화, 업그레이드 가능한 시스템, 원격 모니터링, 자동 기판 크기 감지 등 다양한 기능을 제공합니다. 이러한 기능을 통해, 사용자는 프로세스 조건이나 기판의 변화에 관계없이 반복 가능한 포토레시스트 (photoresist) 레이어를 쉽게 처리할 수 있으므로, 비용 효율적이고 신뢰할 수 있는 시스템입니다.