판매용 중고 ENTEGRIS FOUP #9392095

ENTEGRIS FOUP는 고해상도 집적 회로 (IC) 제조에 사용되는 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 제조 공정의 프런트엔드를 관리, 추적, 검사하는 데 사용되는 다목적 도구입니다. FOUP 장치 (FOUP Unit) 는 포토리스토그래피 (Photolithography) 에 사용되는 장비와 프로세스를 관리할 수 있는 다용도 솔루션으로 설계되었습니다. ENTEGRIS FOUP 머신에는 고급 포트 기술 설계 및 오염 제어 (contamination control) 를 포함하여 photolithography 프로세스를 최적화하는 몇 가지 기능이 있습니다. 포트 설계를 통해 사용자는 도구와 기계 간에 손쉽게 웨이퍼 (wafer) 를 전송할 수 있으며, 영역 간에 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 이동할 수 있는 고속 트랙 제어 기능을 제공합니다. 이 설계는 또한 고급 오염 제어를 통해 지속적으로 깨끗한 웨이퍼를 보장합니다. FOUP 도구의 모든 구성 요소는 photoresist 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되었습니다. 에셋에는 사용자 정의 가능한 도킹 카세트, 여러 운송 및 적재 레일, 웨이퍼 트레이가 포함됩니다. 도킹 카세트 (Docking Cassette) 및 전송 모델은 모듈식 (Modular) 방식이므로 새로운 도구를 전체 프로세스에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 웨이퍼 트레이는 photoresist 응용 프로그램에 특히 적합한 밀폐 된 환경을 제공합니다. ENTEGRIS FOUP 장비에는 또한 강력한 웨이퍼 관리 소프트웨어 (wafer management software) 가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 웨이퍼 로드를 추적 및 관리하고, 특정 도구에 작업을 할당하고, 도구 간의 전송 이동을 자동화할 수 있습니다. 또한, 이 소프트웨어는 포토레지스트 레이어의 고장 분석, 정밀도 측정 등, 웨이퍼 검사를위한 고급 도구를 제공합니다. FOUP 장치는 현재 및 향후 사진 설명 요구를 충족하기위한 신뢰할 수있는 도구입니다. 견고한 설계, 정확한 제어, 고급 관리 툴을 통해 고품질의 제품을 일관되게 관리할 수 있습니다. 이 기계의 포트 설계, 오염 제어 (contamination control) 기능, 웨이퍼 (wafer) 관리 소프트웨어를 사용하여 고객은 photoresist 애플리케이션을 가능한 한 효율적이고 효과적으로 실행할 수 있습니다.