판매용 중고 ELS TECHNOLOGY ELS-306MA #9059475

ELS TECHNOLOGY ELS-306MA "Desmear Equipment" 는 선도적 인 포토 esist 개발자 ELS TECHNOLOGY가 설계 한 포토 esist 시스템입니다. Photoresist는 패턴 정의를 제공하기 위해 반 도체 제조에 사용되는 빛에 민감한 물질입니다. ELS-306MA Desmear Unit은 베이킹, 노출 및 개발을 포함한 통합 기능을 갖춘 3-in-1 머신으로, 포토 esist 제작을위한 포괄적 인 통합 솔루션 역할을합니다. 이 도구는 매우 통합된 단일 프로세스 챔버 (single process chamber) 를 통해 최적의 통합 및 공간 절약이 가능합니다. 이 공정 챔버 (process chamber) 는 포토리스 스틱 프로세스에 맞게 조정되었으며, 로드 락 기술 및 최대 200mm 기판에 대한 표준 웨이퍼 처리 (standard wafer handling) 와 같은 뛰어난 처리 기능을 제공합니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 또한 빠른 베이크 시간을 특징으로하며, 샘플을 굽는 데 1-2 분의 범위를 제공합니다. 또한, 챔버에는 내부 광원 모니터링 에셋 (in-situ light monitoring asset) 과 통합 회절 격자 (diffraction grating) 가 있으므로 잘못된 매개변수로 인한 선폭 변형 및 품질 문제가 제거됩니다. ELS TECHNOLOGY ELS-306MA는 또한 Quadrascan, 다양한 레이저 마킹 소스 및 EB Resist 패턴과 같은 광범위한 노출 도구 옵션을 지원합니다. 이 기계는 강력한 소프트웨어 패키지 (software package) 로 지원되므로 레시피를 쉽게 설정하고 사용자 정의할 수 있습니다. 여기에는 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스, 통합 배치 처리 기능, 50 개가 넘는 프로세스에 대한 사전 설치된 레시피 등이 포함됩니다. 또한, ELS-306MA Desmear Model은 뛰어난 가동 시간과 신뢰성을 제공하여 지속적이고 문제 없는 작동을 보장합니다. 이 장비에는 과압 방지, 열 모니터링, 과전류 방지와 같은 통합 안전 기능이 있습니다. 또한 프로세스를 손쉽게 모니터링할 수 있도록 자가 진단 기능과 통합 프로세스 추적 (Integrated Process Tracking) 기능을 제공합니다. 마지막으로, ELS TECHNOLOGY ELS-306MA는 통합 멀티 기능, 빠른 처리 속도, 안정적인 성능 덕분에 탁월한 비용 가치를 제공합니다. 소형 설계 (compact design) 와 통합 (integrated) 기능도 제한된 공간에서 생산에 이상적입니다. 즉, 추가 어셈블리나 배선이 필요하지 않습니다.