판매용 중고 EATON XL622B #9180693

EATON XL622B (Eaton XL622B) 는 다양한 단결정 반도체 기판의 웨이퍼 레벨 포토 esist 코팅을 위해 설계된 고성능, 고정밀 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 제어 환경에서 정확하고 반복 성을 제공하도록 설계되었습니다. XL622B는 액체 수준 모니터링 장치를 사용하여 사용자가 반복 가능한 결과와 함께 고품질 코팅을 얻을 수 있도록 도와줍니다. 이 기계에는 증기 분산기, 액체 수준 모니터, 저항 가열 블록 및 저항 측정 장치가 포함되어 있습니다. 이러한 컴포넌트는 균일 하고, 일관되고, 반복 가능한 코팅 두께와 기판 전체에 걸쳐 photoresist의 패턴을 생성하기 위해 함께 작동합니다. 증기 분산기 는 광증기 증기 의 정확 하고 반응 이 좋은 흐름 을 기판 에 전달 한다. 이것 은 "포토레지스트 '층 에서" 포이즈' 를 고수 하거나 낮은 "포켓 '의" 포켓' 이 없는 원하는 영역 으로 "포토레지스트 '가 전달 되도록 한다. [액체 레벨 모니터] 를 사용하면 photoresist의 두께를 적용한 상태에서 지속적으로 측정하여 코팅 두께를 일관되게 유지할 수 있습니다. 그런 다음 저항 측정 장치 (resistance-measuring device) 는 코팅 과정에서 광저항의 전기 저항을 모니터링하고 기록합니다. 이렇게 하면 photoresist 레이어의 전체 품질 (품질) 에 대한 정보가 적용됩니다. 저항 가열 블록 (resist-heating block) 은 웨이퍼를 가로 질러 포토 esist의 균일 하고 반복 가능한 가열을 가능하게함으로써 photoresist의 균일 한 전달에 도움이됩니다. 일관성 있는 저항증기 (resist vapor) 의 정확한 전달과 EATON XL622B (EATON XL622B) 의 균일 한 가열과 결합 된 포토 esist 층의 정확하고 반복 가능한 측정을 가능하게하여 뛰어난 반복 성과 함께 고품질 코팅을 만들 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 고품질 및 최소 변형을 가진 일관된 웨이퍼 레벨 포토레스 (photoresist) 레이어를 만들 수 있습니다.