판매용 중고 DOMINUS Opticoat ST30i #9218145

DOMINUS Opticoat ST30i는 반도체 제작을 위해 설계된 차세대 포토 esist 장비입니다. 광범위한 어플리케이션에 대한 기존의 포토리스 (photoresist) 시스템보다 뛰어난 성능 특성을 제공합니다. 탁월한 균일성과 일률적인 라인 폭을 제공하는, 고도의 경제적인 솔루션입니다. Opticoat ST30i는 화학적으로 증폭 된 표준 및 화학적으로 변형 된 수지를 모두 포함하는 고성능, 저온 베이크 레지스트입니다. 표준 수지는 우수한 기판 접착 및 선 형성을 제공하며, 석판화 정확도를 향상시키기 위해 가능한 가장 작은 선 너비를 유지합니다. 화학적으로 변형 된 수지는 전통적인 저항보다 개선 된 균일 성을 제공하며, 향상된 석판 수율 및 장치 특성을 제공합니다. 이 시스템에는 반사 방지 제제, 접촉 에치 마스크, 저항 미립자 여과, 더 두꺼운 저항을 포함한 다양한 저항 제화 기능이 제공됩니다. 이러한 유연성은 다양한 프로세스 및 석판화 요구에 적합합니다. 또한, 스프레이 코팅 장비와 이동식 모듈은 탁월한 프로세스 기능과 안정성을 제공합니다. DOMINUS Opticoat ST30i를 사용하면 라인 너비 및 에치 프로파일의 균일성 및 임계 치수 제어가 향상됩니다. 전체 프로세스 창과 향상된 등록 정확성 (Registration Accuracy) 을 통해 프로세스 안정성과 반복성을 높일 수 있습니다. 저온 베이킹은 고온 베이크 회로가 필요하지 않으며, 이로 인해 상당한 비용이 절감됩니다. 또한 이 저항 장치 는, 광학, 열, 접착 특성 과 같은, 전통적 저항력 에 비해 여러 가지 공정 의 장점 을 지니고 있습니다. 저온 "베이크 '는" 에너지' 소비량 과 열 충격 을 현저 히 감소 시키는 반면, 광학 특성 의 향상 으로 광학 등록 오류 가 적고 초점 조절 의 깊이 가 향상 된다. 또한, 개선 된 화학 저항과 접착은 저항층의 장기 성능을 향상시켜 장치에서 더 긴 런타임 (run-time) 을 가능하게합니다. Opticoat ST30i는 탁월한 성능, 신뢰성 및 비용 절감을 보장하는 고급 저비용 (LC) 포토레지스트 머신입니다. 뛰어난 균일 성과 균일 한 선 너비는 뛰어난 석판 수율 및 장치 특성을 제공합니다. 또한 향상된 광학, 열, 접착 특성 등 다양한 프로세스 이점을 제공합니다. 이로 인해 DOMINUS Opticoat ST30i는 반도체 제작을위한 완벽한 선택이되었습니다.